| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 检测电路的噪声研究 | 第10-12页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第12-14页 |
| 2 检测电路原理 | 第14-26页 |
| 2.1 电容位移传感电路 | 第15-21页 |
| 2.2 反馈执行机原理 | 第21-23页 |
| 2.3 模拟PID控制原理 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 检测电路噪声理论分析 | 第26-49页 |
| 3.1 电容位移传感电路噪声理论分析 | 第26-37页 |
| 3.2 模拟PID控制噪声分析 | 第37-41页 |
| 3.3 反馈执行机噪声分析 | 第41-46页 |
| 3.4 加速度计闭环等效噪声分析 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 检测电路噪声实验测试 | 第49-71页 |
| 4.1 电容-传感电路实验测试 | 第49-60页 |
| 4.2 反馈执行机本底测试 | 第60-63页 |
| 4.3 闭环检测电路噪声测试结果 | 第63-64页 |
| 4.4 前放OPA627的e_n拟合 | 第64-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 5 总结及展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |