基于紫外纳秒激光脉冲的薄膜微结构加工技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 脉冲激光加工技术 | 第8-10页 |
| 1.2 薄膜结构加工技术研究进展 | 第10-15页 |
| 1.3 课题研究的意义和主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 薄膜结构紫外纳秒激光脉冲加工机理研究 | 第16-24页 |
| 2.1 激光与材料的相互作用 | 第16-20页 |
| 2.2 薄膜结构激光脉冲加工技术 | 第20-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 系统优化设计 | 第24-36页 |
| 3.1 紫外纳秒脉冲激光器 | 第24-26页 |
| 3.2 运动控制系统 | 第26-29页 |
| 3.3 光路机械系统 | 第29-31页 |
| 3.4 上位机软件设计 | 第31-34页 |
| 3.5 辅助加工设备 | 第34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 位置定位算法与自动聚焦算法 | 第36-50页 |
| 4.1 位置定位算法 | 第36-39页 |
| 4.2 自动聚焦算法 | 第39-48页 |
| 4.3 局部自动聚焦算法 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 薄膜结构加工实验 | 第50-72页 |
| 5.1 自动聚焦算法实验 | 第50-55页 |
| 5.2 激光器标定 | 第55-57页 |
| 5.3 影响加工效果的参数 | 第57-62页 |
| 5.4 铜膜加工实验 | 第62-64页 |
| 5.5 碲镉汞薄膜加工实验 | 第64-70页 |
| 5.6 激光光束的参数估计 | 第70-71页 |
| 5.7 本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
