| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第15-35页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 脉冲激光与光学薄膜相互作用机理的研究进展 | 第16-29页 |
| 1.2.1 热机制 | 第17-22页 |
| 1.2.2 场机制 | 第22-24页 |
| 1.2.3 电离机制 | 第24-29页 |
| 1.3 国内外激光诱导薄膜损伤测试方法研究现状 | 第29-31页 |
| 1.4 影响光学薄膜激光损伤阈值主要因素的研究进展 | 第31-34页 |
| 1.5 课题来源和主要研究工作 | 第34-35页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第34页 |
| 1.5.2 主要研究工作 | 第34-35页 |
| 2 薄膜激光诱导损伤的等离子体光谱特征研究 | 第35-51页 |
| 2.1 激光诱导等离子体光谱的基本原理 | 第35-41页 |
| 2.1.1 等离子体发射光谱的理论基础 | 第35-38页 |
| 2.1.2 等离子体发射光谱的产生机理 | 第38-41页 |
| 2.2 激光诱导等离子体光谱的基本特征 | 第41-45页 |
| 2.2.1 等离子体光谱的谱线特征 | 第41-42页 |
| 2.2.2 等离子体谱线的元素分析依据 | 第42页 |
| 2.2.3 谱线展宽 | 第42-45页 |
| 2.3 激光诱导等离子体光谱特征参数的计算 | 第45-50页 |
| 2.3.1 等离子体温度的计算 | 第45-46页 |
| 2.3.2 等离子体电子密度的计算 | 第46-47页 |
| 2.3.3 实验及分析 | 第47-50页 |
| 2.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 3 薄膜激光诱导损伤的等离子体冲击波特征研究 | 第51-79页 |
| 3.1 薄膜激光诱导等离子体的形成机理 | 第51-55页 |
| 3.1.1 薄膜材料的热吸收原理 | 第51-54页 |
| 3.1.2 薄膜激光诱导等离子体的产生原理 | 第54-55页 |
| 3.2 薄膜激光诱导等离子体冲击波的形成机理 | 第55-61页 |
| 3.2.1 等离子体冲击波的起因 | 第55-59页 |
| 3.2.2 薄膜激光诱导等离子体冲击波的数学描述 | 第59-61页 |
| 3.3 等离子体冲击波的特征参数 | 第61-70页 |
| 3.3.1 等离子体冲击波的动力学描述 | 第61-62页 |
| 3.3.2 等离子体冲击波的自由传播 | 第62-68页 |
| 3.3.3 激光诱导等离子体冲击波的参数理论仿真计算 | 第68-70页 |
| 3.4 等离子体冲击波的声学分析原理 | 第70-78页 |
| 3.4.1 等离子体冲击波的极限是声波 | 第70-72页 |
| 3.4.2 声学分析方法 | 第72-74页 |
| 3.4.3 测试条件及实验布置 | 第74-75页 |
| 3.4.4 实验结果及分析 | 第75-78页 |
| 3.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 4 基于等离子体特征的薄膜损伤阈值测试方法实验研究 | 第79-105页 |
| 4.1 薄膜激光损伤阈值的定义及测试方法 | 第79-89页 |
| 4.1.1 薄膜光学元件的激光损伤定义 | 第79-80页 |
| 4.1.2 薄膜光学元件的激光损伤测试方法 | 第80-81页 |
| 4.1.3 几种常用的薄膜损伤分析方法 | 第81-84页 |
| 4.1.4 薄膜激光诱导损伤阈值测试不确定度分析 | 第84-89页 |
| 4.2 基于等离子体特征的薄膜损伤阈值测试方法 | 第89-103页 |
| 4.2.1 基于等离子体光谱特征的薄膜损伤阈值测试方法 | 第89-95页 |
| 4.2.2 基于等离子体冲击波特征的薄膜损伤阈值测试方法 | 第95-103页 |
| 4.3 本章小结 | 第103-105页 |
| 5 薄膜激光诱导损伤阈值主要影响因素的实验研究 | 第105-121页 |
| 5.1 基底面形参数对薄膜损伤阈值的影响 | 第105-109页 |
| 5.1.1 样品准备 | 第105-106页 |
| 5.1.2 结果分析及讨论 | 第106-109页 |
| 5.2 不同周期的膜系结构对薄膜损伤阈值的影响 | 第109-115页 |
| 5.2.1 样品准备 | 第109-111页 |
| 5.2.2 结果分析与讨论 | 第111-115页 |
| 5.3 外加偏置电场对薄膜损伤特性的影响 | 第115-120页 |
| 5.3.1 外加偏置电场对类金刚石薄膜损伤特性的影响 | 第115-118页 |
| 5.3.2 外加偏置电场对氧化物膜损伤特性的影响 | 第118-120页 |
| 5.4 本章小结 | 第120-121页 |
| 6 总结与展望 | 第121-123页 |
| 6.1 本文所做的工作及创新点 | 第121-122页 |
| 6.2 展望 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-134页 |
| 附录 | 第134-136页 |
