| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 符号说明 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 金刚石结构、性质及应用 | 第13-15页 |
| 1.2.1 金刚石的结构 | 第13页 |
| 1.2.2 金刚石的性质及应用 | 第13-15页 |
| 1.3 金刚石的制备 | 第15-17页 |
| 1.3.1 金刚石的合成历程 | 第15-16页 |
| 1.3.2 CVD金刚石制备方法 | 第16-17页 |
| 1.4 金刚石涂层用于不锈钢制品的技术挑战 | 第17-19页 |
| 1.4.1 不锈钢表面制备金刚石涂层的技术难点 | 第17-19页 |
| 1.4.2 过渡层的选择 | 第19页 |
| 1.5 研究现状 | 第19-21页 |
| 1.6 研究目的与研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 实验内容 | 第22-28页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 实验设备 | 第22-23页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备 | 第22-23页 |
| 2.2.2 热丝化学气相沉积(HFCVD)设备 | 第23页 |
| 2.3 不锈钢基底上金刚石薄膜的制备步骤 | 第23-26页 |
| 2.3.1 过渡层的制备 | 第23-24页 |
| 2.3.2 金刚石薄膜的沉积 | 第24-26页 |
| 2.4 金刚石薄膜的表征方法 | 第26-28页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS) | 第26页 |
| 2.4.2 拉曼光谱(Raman) | 第26页 |
| 2.4.3 X射线衍射(XRD) | 第26-27页 |
| 2.4.4 纳米压痕 | 第27-28页 |
| 第三章 硅过渡层对不锈钢衬底上金刚石薄膜沉积的影响 | 第28-39页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 实验方案 | 第28-29页 |
| 3.2.1 硅过渡层的制备方案 | 第28-29页 |
| 3.2.2 金刚石薄膜的制备参数 | 第29页 |
| 3.3 衬底与热丝间距(H)对不锈钢衬底上金刚石形核的影响 | 第29-33页 |
| 3.3.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第30-32页 |
| 3.3.2 Raman测试 | 第32-33页 |
| 3.4 碳源流量对不锈钢衬底上金刚石形核的影响 | 第33-36页 |
| 3.4.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第34-36页 |
| 3.5 渗硅不锈钢衬底上金刚石薄膜的沉积 | 第36-38页 |
| 3.5.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第36-37页 |
| 3.5.2 Raman测试 | 第37-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 铬过渡层对不锈钢衬底上金刚石薄膜沉积的影响 | 第39-53页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 实验方案 | 第39-40页 |
| 4.2.1 铬过渡层的制备方案 | 第39-40页 |
| 4.2.2 金刚石薄膜制备参数 | 第40页 |
| 4.3 不同种晶方式对铬过渡层上金刚石薄膜沉积的影响 | 第40-43页 |
| 4.3.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第40-42页 |
| 4.3.2 Raman光谱测试 | 第42-43页 |
| 4.4 提高铬过渡层与衬底间结合力的工艺探索 | 第43-45页 |
| 4.4.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第43-45页 |
| 4.5 碳化热处理对铬过渡层上金刚石薄膜沉积的影响 | 第45-52页 |
| 4.5.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第46-48页 |
| 4.5.2 Raman光谱测试 | 第48页 |
| 4.5.3 XRD测试 | 第48-50页 |
| 4.5.4 纳米压痕测试 | 第50-51页 |
| 4.5.5 电化学测试 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 过渡层厚度及表面形貌对金刚石薄膜沉积的影响 | 第53-61页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验方案 | 第53-54页 |
| 5.2.1 铬过渡层的制备方案 | 第53-54页 |
| 5.2.2 金刚石薄膜的制备参数 | 第54页 |
| 5.3 衬底表面形貌对铬过渡层上金刚石薄膜沉积的影响 | 第54-57页 |
| 5.3.1 扫描电子显微镜(SEM)测试 | 第54-56页 |
| 5.3.2 Raman光谱测试 | 第56-57页 |
| 5.4 铬过渡层厚度对其表面金刚石薄膜沉积的影响 | 第57-60页 |
| 5.4.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第58-59页 |
| 5.4.2 Raman光谱测试 | 第59-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论 | 第61-63页 |
| 本文创新点 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
