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硅基稀土掺杂氧化锌薄膜电致发光器件的制备与研究

致谢第5-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-10页
1 绪论第15-29页
    1.1 研究背景及研究的意义第15-16页
    1.2 ZnO材料的基本性质第16-20页
        1.2.1 ZnO材料的结构特性第17-18页
        1.2.2 ZnO材料的电学特性第18页
        1.2.3 ZnO材料的光学特性第18-20页
    1.3 ZnO材料在光电器件领域的研究进展第20-23页
        1.3.1 p-ZnO薄膜的研究进展第21页
        1.3.2 ZnO光电探测器的研究进展第21-22页
        1.3.3 ZnO在太阳能电池领域的研究进展第22-23页
        1.3.4 ZnO紫外发光二极管的研究进展第23页
    1.4 稀土元素的基本性质第23-25页
        1.4.1 稀土元素的结构特性第24-25页
        1.4.2 稀土元素的发光特性第25页
    1.5 稀土掺杂的ZnO LED器件的研究进展第25-26页
    1.6 论文的主要研究内容及创新点第26-29页
2 样品的制备方法及表征方式第29-35页
    2.1 样品的制备第29-31页
        2.1.1 衬底的清洗第29页
        2.1.2 薄膜的制备第29-31页
        2.1.3 热处理第31页
    2.2 样品的表征第31-35页
        2.2.1 膜厚测量第31页
        2.2.2 物相分析第31-32页
        2.2.3 元素的分析第32页
        2.2.4 吸收光谱第32-33页
        2.2.5 光致发光第33页
        2.2.6 电致发光第33-35页
3 高质量的ZnO薄膜的制备及其光致发光特性的研究第35-45页
    3.1 引言第35页
    3.2 磁控溅射法制备ZnO薄膜第35-38页
        3.2.1 ZnO薄膜的制备第35-36页
        3.2.2 ZnO薄膜的结构与发光性质第36-38页
    3.3 氧化锌薄膜光致发光性能的研究第38-43页
        3.3.1 衬底温度对ZnO薄膜光致发光性能的影响第38-39页
        3.3.2 氩氧比对ZnO薄膜光致发光性能的影响第39-40页
        3.3.3 O_2氛围中退火对ZnO薄膜光致发光性能的影响第40-41页
        3.3.4 N_2氛围中退火对ZnO薄膜光致发光性能的影响第41-43页
    3.4 本章小结第43-45页
4 空穴注入层和空穴加速层对ZnO:Er电致发光器件的改善第45-61页
    4.1 引言第45-46页
    4.2 ZnO:Er电致发光器件的研究第46-50页
        4.2.1 ZnO:Er薄膜的制备及表征第46-47页
        4.2.2 ZnO:Er电致发光器件的制备及表征第47-49页
        4.2.3 ZnO:Er电致发光器件发光机理的研究第49-50页
    4.3 ZnO:Er电致发光器件的改善第50-56页
        4.3.1 增加空穴注入层第50-52页
        4.3.2 增加空穴加速层第52-56页
    4.4 ZnO:Tb电致发光器件的研究第56-58页
        4.4.1 ZnO:Tb电致发光器件的制备第57页
        4.4.2 ZnO:Tb电致发光器件的表征第57-58页
    4.5 本章小结第58-61页
5 稀土掺杂ZnO薄膜电致发光器件中能量传递现象的研究第61-79页
    5.1 引言第61-62页
    5.2 ZnO:Eu电致发光器件的研究第62-72页
        5.2.1 ZnO:Eu薄膜的生长及表征第62-63页
        5.2.2 ZnO:Eu电致发光器件的制备与性能的研究第63-64页
        5.2.3 Tb~(3+)→Eu~(3+)的能量传递对ZnO:Eu电致发光器件的优化第64-70页
        5.2.4 Tm~(3+)→Eu~(3+)的能量传递对ZnO:Eu电致发光器件的优化第70-72页
    5.3 ZnO:Sm电致发光器件的研究第72-77页
        5.3.1 ZnO:Sm薄膜的制备与表征第72页
        5.3.2 ZnO:Sm电致发光器件的制备与表征第72-74页
        5.3.3 Tb~(3+)→Sm~(3+)的能量传递对ZnO:Sm电致发光器件的优化第74-77页
    5.4 本章小结第77-79页
6 稀土掺杂ZnO薄膜白光电致发光器件的初步探索第79-91页
    6.1 引言第79页
    6.2 ZnO:Tm电致发光器件的研究第79-83页
        6.2.1 ZnO:Tm电致发光器件的制备第80页
        6.2.2 ZnO:Tm电致发光器件的表征第80-81页
        6.2.3 空穴注入层/空穴加速层对ZnO:Tm电致发光器件的优化第81-83页
    6.3 ZnO:Dy电致发光器件的研究第83-90页
        6.3.1 ZnO:Dy电致发光器件的制备第84页
        6.3.2 ZnO: Dy电致发光器件的表征第84-87页
        6.3.3 ZnO:Dy器件电致发光机理的研究第87-88页
        6.3.4 Tm的掺杂对ZnO:Dy电致发光器件的影响第88-90页
    6.4 本章小结第90-91页
结论第91-93页
参考文献第93-101页
作者简历及攻读博士学位期间取得的研究成果第101-105页
学位论文数据集第105页

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