薄膜热物性的测试系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题提出的背景和意义 | 第8-9页 |
| ·薄膜热物性测试的研究现状 | 第9-11页 |
| ·自动测试系统与虚拟仪器技术 | 第11-12页 |
| ·论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 2 薄膜热物性的测量原理和方法 | 第14-26页 |
| ·薄膜热容的测试方法与结构设计 | 第14-22页 |
| ·双层悬臂梁量热计 | 第14-16页 |
| ·差示扫描量热法 | 第16-19页 |
| ·热延迟时间量热法 | 第19-21页 |
| ·其他测试方法 | 第21-22页 |
| ·薄膜热导率的测试方法与结构设计 | 第22-24页 |
| ·薄膜热扩散率的测试方法 | 第24-26页 |
| 3 测试系统的硬件设计 | 第26-43页 |
| ·硬件系统的总体设计 | 第26-27页 |
| ·硬件系统及控制连接技术 | 第27-35页 |
| ·可控温真空系统 | 第27-31页 |
| ·几种标准仪器的控制连接技术 | 第31-33页 |
| ·GPIB总线的虚拟仪器开发技术 | 第33-35页 |
| ·脉冲电流信号调理电路设计 | 第35-37页 |
| ·加热电路设计 | 第37-43页 |
| 4 测试系统的软件设计 | 第43-59页 |
| ·虚拟仪器软件LabVIEW概述 | 第43-45页 |
| ·软件系统的整体设计 | 第45-50页 |
| ·温阻系数标定系统的设计 | 第50-52页 |
| ·手动测试模式 | 第50-51页 |
| ·自动测试模式 | 第51-52页 |
| ·薄膜热容的测试系统设计 | 第52-56页 |
| ·控制与数据采集界面设计 | 第53-54页 |
| ·基于差示扫描量热法的数据分析界面设计 | 第54-55页 |
| ·基于热延迟时间法的数据分析界面设计 | 第55-56页 |
| ·薄膜热导率的测试系统设计 | 第56-59页 |
| 5 薄膜热物性的实验测试 | 第59-70页 |
| ·单悬臂梁热导率的测试与结果分析 | 第59-61页 |
| ·薄膜热容测试系统的实验验证 | 第61-66页 |
| ·金属薄膜热容的测试与结果分析 | 第66-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 附录 软件系统的G语言代码 | 第73-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
