| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 粗糙表面椭偏响应的实验原理和数值方法 | 第15-32页 |
| 2.1 椭偏仪的测量原理 | 第15-21页 |
| 2.1.1 光谱椭偏仪测量椭偏参数和光学常数的基本原理 | 第15-18页 |
| 2.1.2 ME-L型宽光谱穆勒矩阵椭偏仪的实验测量原理 | 第18-21页 |
| 2.2 穆勒矩阵的表达形式 | 第21-25页 |
| 2.2.1 Jones矩阵转Mueller矩阵 | 第21-24页 |
| 2.2.2 实验测量的Mueller矩阵转为不含退偏效应的理论值 | 第24-25页 |
| 2.3 求解随机粗糙表面椭偏响应的数值方法 | 第25-28页 |
| 2.3.1 RCWA的基本原理 | 第25页 |
| 2.3.2 FDTD计算三维模型的基本原理 | 第25-28页 |
| 2.4 实验验证 | 第28-31页 |
| 2.4.1 数值计算椭偏参数的实验验证 | 第29-30页 |
| 2.4.2 数值计算Mueller矩阵的实验验证 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 粗糙表面椭偏测量中EMA的RegimeMap | 第32-48页 |
| 3.1 高斯随机粗糙表面等效介质模型的建立 | 第32-34页 |
| 3.2 高斯随机粗糙表面等效介质模型精度的影响因素 | 第34-35页 |
| 3.3 高斯随机粗糙表面等效介质模型的RegimeMap | 第35-47页 |
| 3.3.1 等效介质模型椭偏参数的RegimeMap | 第36-39页 |
| 3.3.2 等效介质模型光学常数的RegimeMap | 第39-42页 |
| 3.3.3 椭偏参数的误差对光学常数误差的影响 | 第42-45页 |
| 3.3.4 均方根粗糙度对等效介质模型误差分布的影响 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 随机微粗糙表面的穆勒矩阵研究 | 第48-66页 |
| 4.1 入射角对穆勒矩阵的影响 | 第48-52页 |
| 4.2 负折射率对穆勒矩阵的影响 | 第52-55页 |
| 4.3 消光系数对穆勒矩阵的影响 | 第55-58页 |
| 4.4 相对粗糙度对穆勒矩阵的影响 | 第58-61页 |
| 4.5 自相关长度对穆勒矩阵的影响 | 第61-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
