| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 微环传感器的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微环传感器的研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 微环加速度传感器 | 第12-14页 |
| 1.2.2 微环温度传感器 | 第14-15页 |
| 1.2.3 微环生物化学传感器 | 第15-18页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 微环谐振器 | 第19-41页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 微环谐振器的理论基础 | 第19-23页 |
| 2.2.1 光波导理论 | 第19-22页 |
| 2.2.2 耦合模理论 | 第22-23页 |
| 2.3 微环谐振器的研究方法 | 第23-25页 |
| 2.4 微环谐振器的基本原理 | 第25-26页 |
| 2.5 微环谐振器的性能参数 | 第26-27页 |
| 2.6 微环谐振器的材料 | 第27-29页 |
| 2.7 微环谐振器的数学模型 | 第29-38页 |
| 2.7.1 普通模型 | 第29-32页 |
| 2.7.2 新颖模型 | 第32-38页 |
| 2.8 微环谐振器的制造工艺 | 第38-39页 |
| 2.9 本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章U型波导耦合单微环结构的传输特性分析 | 第41-49页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 U型波导耦合单微环结构的传输特性分析 | 第41-48页 |
| 3.2.1 耦合系数对U型波导耦合单微环结构输出特性的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.2 损耗对U型波导耦合单微环结构输出特性的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.3 微环半径对U型波导耦合单微环结构输出特性的影响 | 第44-45页 |
| 3.2.4 有效折射率对U型波导耦合单微环结构输出特性的影响 | 第45-46页 |
| 3.2.5 U型波导长度对U型波导耦合单微环结构输出特性的影响 | 第46-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 基于U型波导耦合单微环结构的光学传感应用设计研究 | 第49-69页 |
| 4.1 引言 | 第49-50页 |
| 4.2 基于U型波导耦合单微环结构的湿度传感器设计研究 | 第50-58页 |
| 4.2.1 湿度传感原理 | 第51-52页 |
| 4.2.2 最佳感湿部位分析 | 第52-56页 |
| 4.2.3 灵敏度 | 第56-57页 |
| 4.2.4 聚酰亚胺高温水解和受热膨胀对湿度传感器的影响 | 第57-58页 |
| 4.3 基于U型波导耦合单微环结构的温度传感器设计研究 | 第58-68页 |
| 4.3.1 温度传感原理 | 第58页 |
| 4.3.2 温度测量范围 | 第58-60页 |
| 4.3.3 进一步拓宽温度测量范围的方法研究 | 第60-67页 |
| 4.3.4 减小微环半径对温度传感器的影响 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 作者简介 | 第77页 |
