| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 AlCrN及AlCrSiN涂层的研究现状及进展 | 第13-18页 |
| 1.2.1 Al含量对AlCrN涂层结构和性能的影响 | 第13-15页 |
| 1.2.2 合金元素对AlCrN涂层的影响 | 第15-16页 |
| 1.2.3 AlCrN和AlCrSiN涂层的热稳定性和抗氧化性能研究 | 第16-18页 |
| 1.2.4 AlCrSiN涂层的摩擦性能研究 | 第18页 |
| 1.3 AlCrN系涂层的制备方法 | 第18-22页 |
| 1.3.1 磁控溅射法 | 第19页 |
| 1.3.2 电弧离子镀法 | 第19-22页 |
| 1.4 本课题的研究目的及内容 | 第22-23页 |
| 第二章 涂层的制备与表征方法 | 第23-30页 |
| 2.1 涂层的制备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第24页 |
| 2.1.3 涂层的制备工艺流程 | 第24页 |
| 2.2 涂层性能的表征 | 第24-30页 |
| 2.2.1 涂层表面与截面形貌分析 | 第24-25页 |
| 2.2.2 涂层相结构分析 | 第25页 |
| 2.2.3 涂层厚度测试 | 第25-26页 |
| 2.2.4 涂层硬度测试 | 第26-27页 |
| 2.2.5 涂层结合力测试 | 第27-28页 |
| 2.2.6 涂层摩擦磨损性能测试 | 第28页 |
| 2.2.7 涂层热稳定性实验 | 第28-29页 |
| 2.2.8 涂层高温氧化实验 | 第29-30页 |
| 第三章 电弧离子镀制备AlCrSiN涂层的工艺研究 | 第30-48页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 AlCrSiN涂层制备工艺正交试验 | 第30-33页 |
| 3.2.1 正交试验方案 | 第30-31页 |
| 3.2.2 正交试验结果及极差分析 | 第31-33页 |
| 3.3 弧电流对涂层的影响 | 第33-38页 |
| 3.3.1 弧电流对AlCrSiN涂层表面形貌、成分与沉积速率的影响 | 第33-36页 |
| 3.3.2 弧电流对AlCrSiN涂层硬度与结合力的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.3 弧电流对AlCrSiN涂层摩擦性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.4 偏压对AlCrSiN涂层的影响 | 第38-47页 |
| 3.4.1 偏压对AlCrSiN涂层的元素组成、表面与截面形貌的影响 | 第39-41页 |
| 3.4.2 偏压对AlCrSiN涂层物相的影响 | 第41-43页 |
| 3.4.3 偏压对AlCrSiN涂层硬度和结合力的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.4 偏压对AlCrSiN涂层摩擦磨损性能的影响 | 第44-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电磁线圈电压对AlCrSiN涂层的影响 | 第48-56页 |
| 4.1 引言 | 第48-49页 |
| 4.2 电磁线圈电压对AlCrSiN涂层表面形貌、成分与沉积速率的影响 | 第49-52页 |
| 4.3 电磁线圈电压对AlCrSiN涂层硬度与结合力的影响 | 第52-53页 |
| 4.4 电磁线圈电压对AlCrSiN涂层摩擦磨损性能的影响 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 AlCrSiN涂层的热稳定性与抗高温氧化性能研究 | 第56-68页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 AlCrSiN涂层的热稳定性 | 第56-59页 |
| 5.2.1 物相结构变化 | 第56-57页 |
| 5.2.2 力学性能变化 | 第57-59页 |
| 5.3 AlCrSiN涂层的抗高温氧化性能 | 第59-66页 |
| 5.3.1 AlCrSiN涂层随温度的氧化增重 | 第59-60页 |
| 5.3.2 物相结构变化 | 第60-61页 |
| 5.3.3 表面形貌与成分变化 | 第61-65页 |
| 5.3.4 电子探针氧化截面元素分析 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 全文总结 | 第68-70页 |
| 工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 附件 | 第78页 |
