| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 1.绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究的意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2.硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器工作原理及分析 | 第16-29页 |
| 2.1 硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器的工作原理 | 第16-18页 |
| 2.1.1 水声传播理论基础 | 第16-17页 |
| 2.1.2 水声接收理论基础 | 第17-18页 |
| 2.2 硅纳米膜巨压阻效应理论 | 第18-22页 |
| 2.2.1 高灵敏压阻式传感器原理及其发展 | 第18-20页 |
| 2.2.2 建立及验证基于表面耗尽机制的巨压阻效应模型 | 第20-22页 |
| 2.2.2.1 基于部分耗尽状态的巨压阻效应 | 第21页 |
| 2.2.2.2 基于完全耗尽状态的巨压阻效应 | 第21-22页 |
| 2.3 硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器结构设计 | 第22-28页 |
| 2.3.1 梁上应力分布分析 | 第22-25页 |
| 2.3.2 水听器谐振频率分析 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3.硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器工艺加工 | 第29-52页 |
| 3.1 硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器版图设计 | 第29-34页 |
| 3.2 基于硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器一体化工艺加工流程 | 第34-46页 |
| 3.3 基于硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器关键工艺验证 | 第46-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 4.硅纤毛/硅纳米膜二维矢量水听器性能表征 | 第52-59页 |
| 4.1 硅纤毛/硅纳米膜矢量水听器形貌观测 | 第52-55页 |
| 4.1.1 普通光学显微镜的整体形貌观测 | 第52-53页 |
| 4.1.2 扫描电子显微镜的观测 | 第53-55页 |
| 4.2 硅纳米膜压阻阻值与压敏特性测试 | 第55-58页 |
| 4.2.1 硅纳米膜压阻阻值测试 | 第55-56页 |
| 4.2.2 硅纳米膜压敏特性测试 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 5.总结与展望 | 第59-62页 |
| 5.1 工作总结 | 第59-60页 |
| 5.2 论文创新点 | 第60页 |
| 5.3 工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
