| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微尺寸测量理论的研究现状 | 第12-22页 |
| 1.2.1 微尺度测量技术与方法国内外研究现状 | 第12-21页 |
| 1.2.2 微尺度测量方法总结与本课题意义 | 第21-22页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 四芯光纤光栅探针传感机理分析 | 第24-41页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 四芯光纤光栅探针传感器悬臂梁模型 | 第24-25页 |
| 2.3 四芯光纤光栅探针传感器的测量模型 | 第25-33页 |
| 2.3.1 四芯光纤光栅探针传感器径向测量模型 | 第25-33页 |
| 2.3.2 四芯光纤光栅探针传感器轴向测量模型 | 第33页 |
| 2.4 四芯光纤光栅探针传感器特性分析 | 第33-36页 |
| 2.4.1 大纵横比探测能力 | 第33页 |
| 2.4.2 高径向灵敏度特性 | 第33-34页 |
| 2.4.3 温度自补偿特性 | 第34页 |
| 2.4.4 三维微位移测量与解耦特性 | 第34-36页 |
| 2.5 外界环境对四芯光纤光栅探针的影响 | 第36-40页 |
| 2.5.1 探针随机振动分析 | 第36-39页 |
| 2.5.2 探针空气流—固体耦合场分析 | 第39-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 探针传感器测量系统设计及仿真分析 | 第41-56页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 四芯光纤光栅探针传感器微尺度测量系统设计 | 第41-48页 |
| 3.2.1 微尺度测量系统的总体设计方案 | 第41页 |
| 3.2.2 四芯光纤光栅探针传感系统光源设计 | 第41-44页 |
| 3.2.3 基于波长解调的四芯光纤光栅探针传感系统 | 第44页 |
| 3.2.4 基于光功率解调的四芯光纤光栅探针传感系统 | 第44-48页 |
| 3.3 探针传感器测量系统的仿真分析 | 第48-55页 |
| 3.3.1 探针传感器测量系统的仿真方法 | 第48-50页 |
| 3.3.2 基于波长解调的四芯光纤光栅探针传感系统的仿真 | 第50-51页 |
| 3.3.3 基于光功率解调的四芯光纤光栅探针传感系统的仿真及优化 | 第51-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 实验研究探针传感器封装和加工技术 | 第56-70页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 腐蚀—耦合法封装四芯光纤光栅探针传感器 | 第56-61页 |
| 4.2.1 四芯光纤的腐蚀 | 第56-58页 |
| 4.2.2 四芯光纤的耦合封装 | 第58-61页 |
| 4.3 飞秒激光器加工三维光波法封装四芯光纤光栅探针传感器 | 第61-65页 |
| 4.3.1 三维光波导的设计及飞秒激光器加工 | 第62-63页 |
| 4.3.2 三维光波导与四芯光纤的耦合封装 | 第63-65页 |
| 4.4 四芯光纤光栅的刻写技术 | 第65-68页 |
| 4.5 四芯光纤光栅探针传感器球形针尖的加工技术 | 第68-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 四芯光纤光栅探针传感系统的性能测试实验 | 第70-85页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 基于波长解调的四芯光纤光栅探针传感系统的性能测试 | 第70-75页 |
| 5.2.1 四芯光纤光栅探针传感器姿态校准实验 | 第70-72页 |
| 5.2.2 四芯光纤光栅探针传感器灵敏度测试 | 第72-74页 |
| 5.2.3 四芯光纤光栅探针传感器触测测试 | 第74-75页 |
| 5.3 基于光功率解调的四芯光纤光栅探针传感系统的性能测试 | 第75-84页 |
| 5.3.1 四芯光纤光栅探针传感器稳定性测试 | 第75-76页 |
| 5.3.2 四芯光纤光栅探针传感器最佳匹配条件优化实验 | 第76-78页 |
| 5.3.3 四芯光纤光栅探针传感器分辨力测试 | 第78-79页 |
| 5.3.4 四芯光纤光栅探针传感器测量实验 | 第79-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-94页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第94-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
