| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-9页 |
| 1.2 国内外技术发展现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 集成电路栅介质 TDDB 的研究 | 第9-10页 |
| 1.2.2 集成电路 PHM 技术的研究与挑战 | 第10-12页 |
| 1.3 本课题的来源及主要研究任务 | 第12-13页 |
| 第二章 栅介质 TDDB 失效机制及 PHM 技术方法 | 第13-22页 |
| 2.1 栅介质 TDDB 失效机制 | 第13-17页 |
| 2.1.1 栅介质 SiO2的性质 | 第13页 |
| 2.1.2 Si-SiO2系统内的电荷 | 第13-14页 |
| 2.1.3 栅介质 TDDB 物理模型 | 第14-17页 |
| 2.2 故障预测及健康管理（PHM）技术方法 | 第17-21页 |
| 2.2.1 PHM 技术介绍 | 第17-19页 |
| 2.2.2 PHM 技术方法 | 第19页 |
| 2.2.3 集成电路 PHM 技术设计流程 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 TDDB 失效预警电路原理和各模块电路的实现 | 第22-40页 |
| 3.1 TDDB 失效预警电路原理 | 第22-24页 |
| 3.1.1 基于预兆单元法的集成电路 PHM 技术原理 | 第22-23页 |
| 3.1.2 TDDB 失效预警电路原理框图 | 第23-24页 |
| 3.2 互不交叠的时钟模块电路实现 | 第24-27页 |
| 3.2.1 传输门 TG | 第24-25页 |
| 3.2.2 反相器 INV | 第25-26页 |
| 3.2.3 与非门 NAND | 第26页 |
| 3.2.4 互不交叠的时钟模块电路实现 | 第26-27页 |
| 3.3 应力电压产生模块的电路设计 | 第27-36页 |
| 3.3.1 应力电压产生模块选择 | 第27-30页 |
| 3.3.2 新型电荷泵设计 | 第30-36页 |
| 3.5 降压模块的电路设计 | 第36-37页 |
| 3.6 输出模块的电路实现 | 第37-39页 |
| 3.6.1 比较器 | 第37-38页 |
| 3.6.2 锁存器 | 第38-39页 |
| 3.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 TDDB 失效预警电路总体电路图及仿真 | 第40-51页 |
| 4.1 整体电路设计 | 第40-41页 |
| 4.2 互不交叠的时钟模块仿真 | 第41页 |
| 4.3 应力电压产生模块仿真 | 第41-45页 |
| 4.3.1 启动电压 | 第42页 |
| 4.3.2 节点电压 | 第42-43页 |
| 4.3.3 输出电容 Cout的影响 | 第43-44页 |
| 4.3.4 容差影响 | 第44-45页 |
| 4.4 降压模块仿真 | 第45-46页 |
| 4.4.1 降压模块对电荷泵输出电压的影响 | 第45页 |
| 4.4.2 降压模块节点电压仿真 | 第45-46页 |
| 4.5 输出模块仿真 | 第46-47页 |
| 4.6 击穿失效仿真 | 第47-49页 |
| 4.7 TDDB 失效预警电路性能参数 | 第49-50页 |
| 4.8 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 总结 | 第51页 |
| 5.2 展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
