用于微结构表面椭圆振动压印装置的研制
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本文研究目的和研究内容 | 第16-17页 |
| 1.4 本文组织结构 | 第17-18页 |
| 第2章 压印理论与单点机械压印仿真分析 | 第18-26页 |
| 2.1 压印的材料力学模型与压印的力学性能指标 | 第18-23页 |
| 2.1.1 压印过程的力学模型 | 第18-19页 |
| 2.1.2 压印过程的材料流动模型 | 第19-21页 |
| 2.1.3 机械压印的材料力学性能指标 | 第21-23页 |
| 2.2 单点机械压印的有限元分析 | 第23-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 二维椭圆振动压印的运动匹配与刀具路径分析 | 第26-36页 |
| 3.1 椭圆振动压印中的运动匹配问题 | 第26-29页 |
| 3.1.1 高频压印采用椭圆振动辅助的必要性 | 第26-27页 |
| 3.1.2 二维椭圆振动压印的运动匹配实现 | 第27-29页 |
| 3.2 椭圆振动压印的刀具路径特征 | 第29-31页 |
| 3.3 椭圆振动辅助压印参数选取 | 第31-33页 |
| 3.3.1 主轴转速 | 第32-33页 |
| 3.3.2 进给率 | 第33页 |
| 3.3.3 椭圆振动工作频率 | 第33页 |
| 3.4 小结 | 第33-36页 |
| 第4章 二维椭圆振动压印装置的设计与分析 | 第36-54页 |
| 4.1 二维椭圆振动压印装置的总体设计 | 第36-39页 |
| 4.1.1 装置的总体运动布局 | 第37-39页 |
| 4.1.2 机构的工作原理 | 第39页 |
| 4.2 二维椭圆振动压印装置的设计计算 | 第39-46页 |
| 4.2.1 压电选型 | 第39-40页 |
| 4.2.2 电容位移传感器的选型 | 第40页 |
| 4.2.3 柔性铰链的选型及设计计算 | 第40-45页 |
| 4.2.4 柔性铰链的性能校核 | 第45-46页 |
| 4.3 有限元仿真分析 | 第46-48页 |
| 4.3.1 静力学分析 | 第46-48页 |
| 4.3.2 模态分析 | 第48页 |
| 4.4 预紧机构设计 | 第48-49页 |
| 4.5 铰链支架及装置底座设计 | 第49-51页 |
| 4.6 二维椭圆振动压印装置的加工装配 | 第51-52页 |
| 4.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 二维椭圆振动压印装置的离线性能测试 | 第54-62页 |
| 5.1 试验系统组成与试验环境测试 | 第54-55页 |
| 5.2 静态刚度测试 | 第55-56页 |
| 5.3 固有频响测试 | 第56-57页 |
| 5.4 阶跃响应信号跟踪测试 | 第57-58页 |
| 5.5 正弦激励响应测试 | 第58-59页 |
| 5.6 装置运动分辨率测试 | 第59-60页 |
| 5.7 串扰性能分析 | 第60-61页 |
| 5.8 本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 全文结论 | 第62-63页 |
| 6.2 工作展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
