复杂电极结构的单片式电容微位移传感器
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·微位移传感器概述 | 第12-19页 |
| ·微位移传感器分类及特点 | 第12-18页 |
| ·微位移传感器的研究现状和发展方向 | 第18-19页 |
| ·本文研究目的和主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 电容微位移传感器 | 第20-29页 |
| ·电容传感器 | 第20-27页 |
| ·电容传感器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·电容传感器的基本类型 | 第21-26页 |
| ·电容传感器的等效电路 | 第26-27页 |
| ·电容微位移传感器 | 第27-28页 |
| ·电容微位移传感器的基本结构 | 第27-28页 |
| ·电容微位移传感器的主要性能 | 第28页 |
| ·传统电容微位移传感器的局限 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 单片式电容微位移传感器设计 | 第29-43页 |
| ·矩形电极的单片式电容微位移传感器 | 第29-35页 |
| ·矩形电极的单片式电容微位移传感器原理 | 第29页 |
| ·矩形电极的单片式电容值计算 | 第29-31页 |
| ·矩形电极的单片式电容微位移传感器仿真 | 第31-32页 |
| ·电极各参数对传感器电容值及特性的影响 | 第32-35页 |
| ·环形电极的单片电容微位移传感器 | 第35-36页 |
| ·复杂电极的单片式电容微位移传感器 | 第36-42页 |
| ·三维静电场的有限元分析 | 第36-37页 |
| ·复杂电极的单片式电容微位移传感器仿真 | 第37-38页 |
| ·被测物为金属时的仿真结果分析 | 第38-39页 |
| ·被测物为非金属时的仿真结果分析 | 第39-40页 |
| ·电极厚度的仿真研究 | 第40-41页 |
| ·复杂电极单片式电容微位移传感器的PCB实现 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 检测系统 | 第43-53页 |
| ·检测电路分类 | 第43-46页 |
| ·电容-频率测量法 | 第43-44页 |
| ·电容-电压测量法 | 第44-46页 |
| ·检测电路的选择 | 第46-48页 |
| ·测量系统仿真 | 第48-52页 |
| ·仿真软件Proteus介绍 | 第48-49页 |
| ·仿真中的硬件设计 | 第49-51页 |
| ·仿真中的软件设计 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 微位移测量实验 | 第53-59页 |
| ·实验目的与装置 | 第53-54页 |
| ·实验步骤 | 第54-55页 |
| ·实验结果分析 | 第55-58页 |
| ·实验误差来源分析 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64-69页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第69-70页 |
