微探针自动测试系统与性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 课题来源 | 第9-10页 |
| 1.3 IC测试技术的发展与现状 | 第10-14页 |
| 1.4 微探针在IC测试中的应用 | 第14-16页 |
| 1.5 论文内容安排 | 第16-17页 |
| 2 微探针自动测试系统的结构设计与集成 | 第17-30页 |
| 2.1 微探针自动测试系统结构原理 | 第17-18页 |
| 2.2 运动控制系统结构 | 第18-22页 |
| 2.2.1 机械原点的定位方案设计 | 第20-21页 |
| 2.2.2 测试治具的设计 | 第21-22页 |
| 2.3 数据采集系统结构 | 第22-26页 |
| 2.3.1 电阻数据自动采集结构 | 第23-25页 |
| 2.3.2 压力数据自动采集结构 | 第25-26页 |
| 2.4 微探针自动测试系统的工作流程 | 第26-28页 |
| 2.5 微探针自动测试系统平台的集成 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 微探针自动测试系统的软件开发与集成 | 第30-46页 |
| 3.1 编程语言简介 | 第30-31页 |
| 3.2 LABVIEW应用程序的开发 | 第31-35页 |
| 3.2.1 LabVIEW应用程序的组成 | 第31-32页 |
| 3.2.2 SubVI的建立 | 第32页 |
| 3.2.3 LabVIEW与外部设备的通信连接 | 第32-33页 |
| 3.2.4 CLF技术的使用 | 第33-34页 |
| 3.2.5 LabVIEW应用程序的开发步骤 | 第34-35页 |
| 3.3 运动控制模块的程序设计 | 第35-40页 |
| 3.3.1 回零运动 | 第36-38页 |
| 3.3.2 手动运动 | 第38页 |
| 3.3.3 自动运动 | 第38-40页 |
| 3.4 数据采集模块的程序设计 | 第40-44页 |
| 3.5 系统测试平台的软件集成 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 微探针性能与寿命测试实验和结果分析 | 第46-65页 |
| 4.1 压缩位移对探针性能的影响 | 第46-53页 |
| 4.1.1 压缩位移对探针电阻的影响 | 第46-50页 |
| 4.1.2 压缩位移对探针压力的影响 | 第50-53页 |
| 4.2 测试速度对探针性能的影响 | 第53-58页 |
| 4.2.1 测试速度对探针电阻的影响 | 第53-56页 |
| 4.2.2 测试速度对探针压力的影响 | 第56-58页 |
| 4.3 压缩过程中探针电阻与压力的变化 | 第58-60页 |
| 4.4 探针寿命测试实验与结果分析 | 第60-63页 |
| 4.4.2 多组探针寿命自动测试 | 第60-62页 |
| 4.4.3 单组探针寿命自动测试 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 5 全文总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 全文总结 | 第65页 |
| 5.2 工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间主要的研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
