| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 BZT-0.5BCT 薄膜的性能 | 第13-18页 |
| 1.4.1 锆钛酸钡钙薄膜的铁电性能 | 第13-14页 |
| 1.4.2 BZT-0.5BCT 薄膜的介电性能 | 第14-16页 |
| 1.4.3 BZT-0.5BCT 薄膜的压电性能 | 第16-18页 |
| 1.5 BZT-0.5BCT 薄膜的应用 | 第18-19页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第19-20页 |
| 第2章 压电薄膜及种子层制备 | 第20-26页 |
| 2.1 溶胶-凝胶法的特点 | 第20页 |
| 2.2 BZCT 薄膜制备的实验材料 | 第20-21页 |
| 2.3 BZCT 薄膜的制备过程 | 第21-24页 |
| 2.4 PCT 种子层的制备 | 第24页 |
| 2.5 PLCT 种子层的制备 | 第24页 |
| 2.6 薄膜制备工艺参数 | 第24-26页 |
| 第3章 BZCT/PCT 薄膜的结晶取向表征及特性 | 第26-34页 |
| 3.1 BZCT/PCT 薄膜表面形貌的影响 | 第26-27页 |
| 3.2 BZCT/PCT 薄膜织构 | 第27-28页 |
| 3.3 BZCT/PCT 薄膜电导特性的研究 | 第28-32页 |
| 3.3.1 PCT 种子层对 BZCT 薄膜铁电性能的影响 | 第28-29页 |
| 3.3.2 PCT/BZCT 薄膜的介电、压电性能 | 第29-31页 |
| 3.3.3 PCT 种子层对 BZCT 薄膜漏电性的影响 | 第31-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 PLCT 种子层对 BZCT 薄膜织构和性能的研究 | 第34-40页 |
| 4.1 PLCT 种子层对 BZCT 薄膜织构的影响 | 第34-36页 |
| 4.2 BZCT/PLCT 的铁电性能 | 第36-37页 |
| 4.3 种子层 PLCT 对 BZCT 薄膜漏电性能的研究 | 第37-38页 |
| 4.4 BZCT/PLCT 薄膜的介电谱 | 第38-39页 |
| 4.5 本章总结 | 第39-40页 |
| 结论 | 第40-41页 |
| 文献 | 第41-45页 |
| 致谢 | 第45页 |
