| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 BN 晶体结构及其相变 | 第7-10页 |
| 1.3 BN 薄膜及其基本特征 | 第10-14页 |
| 1.3.1 BN 薄膜的物理化学性质 | 第10-11页 |
| 1.3.2 BN 薄膜晶体缺陷 | 第11-12页 |
| 1.3.3 BN 薄膜的掺杂及电性能研究 | 第12-14页 |
| 1.4 ZnO 低压压敏电阻研究 | 第14-16页 |
| 1.4.1 ZnO 的结构及性能特点 | 第14-15页 |
| 1.4.2 低压 ZnO 压敏电阻原理及研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 本课题的研究内容及意义 | 第16-17页 |
| 第二章 实验方法和表征原理 | 第17-23页 |
| 2.1 样品的制备方法和过程 | 第17-18页 |
| 2.2 薄膜结构表征技术及方法 | 第18-21页 |
| 2.2.1 傅里叶变换红外光谱（FTIR） | 第18-19页 |
| 2.2.2 X 射线衍射（XRD） | 第19-20页 |
| 2.2.3 原子力显微镜（AFM） | 第20-21页 |
| 2.3 V-I 曲线的测量方法 | 第21-23页 |
| 第三章 BN 薄膜结构研究 | 第23-37页 |
| 3.1 工作压强对 BN 薄膜结构的影响 | 第23-26页 |
| 3.2 溅射介质对 BN 结构的影响 | 第26-29页 |
| 3.3 溅射功率对沉积薄膜的影响 | 第29-32页 |
| 3.4 衬底温度对 BN 结构的影响 | 第32-34页 |
| 3.5 负偏压对 BN 结构的影响 | 第34-37页 |
| 第四章 BN/ZnO 叠层薄膜电性能研究 | 第37-42页 |
| 4.1 氮气含量对 ZAO/BN/ZAO 电性能的影响 | 第37-40页 |
| 4.2 负偏压对 ZAO/BN/ZAO 电性能的影响 | 第40-42页 |
| 全文总结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |