| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 磁控溅射镀膜原理及特点 | 第10-12页 |
| 1.1.1 磁控溅射镀膜原理 | 第10-11页 |
| 1.1.2 磁控溅射镀膜特点 | 第11-12页 |
| 1.2 硅钢的发展历程 | 第12-13页 |
| 1.3 高硅钢的简介 | 第13-15页 |
| 1.3.1 Fe-6.5%Si高硅钢的性能特点 | 第13-14页 |
| 1.3.2 Fe-6.5%Si高硅钢应用 | 第14-15页 |
| 1.3.3 国内外研究进展 | 第15页 |
| 1.4 Fe-6.5%Si高硅钢制备方法 | 第15-20页 |
| 1.4.1 快凝法 | 第16-18页 |
| 1.4.2 沉积扩散法 | 第18-20页 |
| 1.5 本论文研究内容的提出 | 第20-21页 |
| 2 实验材料及方法 | 第21-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第21页 |
| 2.2 实验设备 | 第21页 |
| 2.3 本课题研究基本路线 | 第21-27页 |
| 2.3.1 形貌观察及能谱分析 | 第22-23页 |
| 2.3.2 结构分析 | 第23页 |
| 2.3.3 软磁性能分析 | 第23-25页 |
| 2.3.4 电阻率测试 | 第25页 |
| 2.3.5 显微硬度测试 | 第25-27页 |
| 3 磁控溅射法镀Al工艺参数研究 | 第27-33页 |
| 3.1 实验方法 | 第27-28页 |
| 3.1.1 实验材料与仪器 | 第27页 |
| 3.1.2 Al膜的制备 | 第27-28页 |
| 3.2 直流溅射功率对Al膜沉积速率的影响 | 第28-29页 |
| 3.3 溅射气压对沉积速率的影响 | 第29-31页 |
| 3.4 Al膜结构与形貌分析 | 第31-32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 Fe-3%Si硅钢基体渗Al研究 | 第33-41页 |
| 4.1 Al在Fe-Si合金中的扩散机理理论分析 | 第33-36页 |
| 4.1.1 Al在Fe-Si合金中的扩散机制 | 第33-34页 |
| 4.1.2 Al在Fe-Si合金中的扩散激活能 | 第34-35页 |
| 4.1.3 Al在Fe-Si合金中的扩散系数 | 第35-36页 |
| 4.2 Al在Fe-Si合金中分布的数学模型 | 第36-37页 |
| 4.3 Al在Fe-Si合金中扩散工艺的研究 | 第37-40页 |
| 4.3.1 扩散退火实验材料与方案 | 第37-38页 |
| 4.3.2 扩散温度对渗Al的影响规律研究 | 第38-39页 |
| 4.3.3 扩散时间对渗Al的影响规律研究 | 第39-40页 |
| 4.3.4 Al的渗入对Si在Fe-Si合金中分布规律的影响 | 第40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 5 Fe-6.5%(Si+Al)软磁合金制备及性能研究 | 第41-53页 |
| 5.1 Fe-6.5%(Si+Al)软磁合金制备 | 第41-43页 |
| 5.2 退火处理对Fe-3%Si合金软磁性能的影响 | 第43-45页 |
| 5.3 Al含量对Fe-Si合金结构组织及性能的影响 | 第45-51页 |
| 5.3.1 Al含量对Fe-Si合金组织结构的影响 | 第45-47页 |
| 5.3.2 Al含量对Fe-Si合金软磁性能的影响 | 第47-50页 |
| 5.3.3 Al含量对Fe-Si合金加工性能的影响 | 第50-51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第57页 |
