| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·MOSFET的发展概况 | 第7页 |
| ·MOSFET的未来趋势和挑战 | 第7-11页 |
| ·MOSFET的未来趋势 | 第7-9页 |
| ·MOSFET面临的挑战 | 第9-11页 |
| ·准二维分析法的意义和现状 | 第11-12页 |
| ·本文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第2章 MOS晶体管的阈值电压与变分理论 | 第14-24页 |
| ·MOSFET的阈值电压 | 第14-17页 |
| ·MOSFET的阈值电压 | 第14-16页 |
| ·LDMOS的阈值电压 | 第16-17页 |
| ·变分法 | 第17-21页 |
| ·变分法的积分问题 | 第18-19页 |
| ·直接解法求变分问题 | 第19-20页 |
| ·微分方程边值问题的变分解 | 第20-21页 |
| ·BSIM模型 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 变分法求准二维MOSFET阈值电压 | 第24-45页 |
| ·在MOSFET模型中变分法求阈值电压 | 第24-34页 |
| ·MOSFET硅表面载流子的能量积分 | 第24-27页 |
| ·用变分法求解能量积分 | 第27-28页 |
| ·直接变分求解表面势 | 第28-30页 |
| ·阈值电压和Φ_(smin)的求解 | 第30-34页 |
| ·在LDMOS中的变分法求阈值电压 | 第34-45页 |
| ·LDMOS硅载表面流子的能量积分 | 第34-36页 |
| ·用变分法求解LDMOS的能量积分 | 第36-38页 |
| ·直接变分求解LDMOS表面势 | 第38-42页 |
| ·Φ_(smin)和阈值电压的求解 | 第42-45页 |
| 第4章 仿真与计算 | 第45-51页 |
| ·Medici仿真结果与理论计算 | 第45-47页 |
| ·确定平带电压 | 第45-46页 |
| ·Medici仿真与计算 | 第46-47页 |
| ·基于BSIM模型的ADS仿真与Medici仿真以及理论计算 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 总结 | 第51-53页 |
| 附录 | 第53-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60页 |