| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 论文研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 硅基MEMS谐振器能量损耗国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 气体阻尼 | 第10-11页 |
| 1.2.2 热弹性阻尼 | 第11-12页 |
| 1.2.3 锚点阻尼 | 第12-13页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 硅基MEMS谐振陀螺 | 第15-31页 |
| 2.1 科氏效应 | 第15-17页 |
| 2.2 硅基MEMS角振动陀螺结构 | 第17-18页 |
| 2.3 硅基MEMS角振动陀螺模态仿真 | 第18-19页 |
| 2.4 硅基MEMS角振动陀螺工作原理 | 第19-24页 |
| 2.4.1 驱动力矩 | 第19-21页 |
| 2.4.2 科氏力矩 | 第21-22页 |
| 2.4.3 角振动陀螺动力学分析 | 第22-24页 |
| 2.5 新型轴对称陀螺结构设计 | 第24-30页 |
| 2.5.1 轴对称陀螺工作原理 | 第24-25页 |
| 2.5.2 轴对称环式陀螺结构与模态仿真 | 第25-28页 |
| 2.5.3 轴对称半球陀螺结构与模态仿真 | 第28-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 硅基MEMS器件能量耗散机理分析 | 第31-40页 |
| 3.1 品质因子 | 第31-32页 |
| 3.2 气体阻尼 | 第32-34页 |
| 3.2.1 气体阻尼损耗机理 | 第32页 |
| 3.2.2 气体阻尼流场模型 | 第32-34页 |
| 3.3 热弹性阻尼 | 第34-36页 |
| 3.3.1 热弹性阻尼损耗机理 | 第34-35页 |
| 3.3.2 Zener线性粘弹性体标准模型 | 第35-36页 |
| 3.4 锚点阻尼 | 第36-37页 |
| 3.5 其他阻尼机制 | 第37-39页 |
| 3.5.1 表面效应 | 第37-38页 |
| 3.5.2 电子阻尼 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 硅基MEMS谐振陀螺Q值解析模型与仿真计算 | 第40-58页 |
| 4.1 角振动陀螺气体阻尼 | 第40-47页 |
| 4.1.1 驱动滑膜阻尼解析模型 | 第40-44页 |
| 4.1.2 敏感压膜阻尼解析模型与有限元仿真 | 第44-47页 |
| 4.2 角振动陀螺热弹性阻尼 | 第47-49页 |
| 4.3 角振动陀螺锚点阻尼 | 第49-54页 |
| 4.3.1 锚点阻尼有限元仿真 | 第49-52页 |
| 4.3.2 锚点尺寸对损耗的影响 | 第52-53页 |
| 4.3.3 锚点位置与损耗的关系 | 第53-54页 |
| 4.4 轴对称陀螺阻尼建模与仿真 | 第54-57页 |
| 4.4.1 环式陀螺 | 第54-55页 |
| 4.4.2 半球陀螺 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 计算与仿真结果分析 | 第58-62页 |
| 5.1 角振动陀螺 | 第58-60页 |
| 5.2 轴对称陀螺 | 第60-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 6.1 总结 | 第62页 |
| 6.2 展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士期间取得的科研成果 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |