| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 论文研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3 论文结构安排 | 第12-14页 |
| 参考文献 | 第14-15页 |
| 第二章 高折射率差亚波长光栅的研究方法和基本特性 | 第15-36页 |
| 2.1 高折射率差亚波长光栅的研究方法 | 第15-26页 |
| 2.1.1 严格耦合波理论 | 第16-20页 |
| 2.1.2 模态法分析 | 第20-24页 |
| 2.1.3 有限元法 | 第24-26页 |
| 2.2 高折率差亚波长光栅的基本特性 | 第26-32页 |
| 2.2.1 抗反射特性 | 第26-28页 |
| 2.2.2 高反特性 | 第28-29页 |
| 2.2.3 相位调制特性 | 第29-32页 |
| 参考文献 | 第32-36页 |
| 第三章 基于高折射率差亚波长光栅的宽光谱高反镜研究 | 第36-46页 |
| 3.1 设计原理 | 第36-37页 |
| 3.2 模型建立 | 第37-38页 |
| 3.3 设计方法 | 第38-41页 |
| 3.4 仿真与结果分析 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第四章 具有汇聚功能的非周期亚波长光栅反射镜研究 | 第46-56页 |
| 4.1 设计原理 | 第46-47页 |
| 4.2 具有汇聚功能的环形亚波长光栅反射镜设计 | 第47-52页 |
| 4.2.1 模型建立 | 第48-49页 |
| 4.2.2 方法分析 | 第49-50页 |
| 4.2.3 设计方法 | 第50-51页 |
| 4.2.4 结果分析 | 第51-52页 |
| 4.3 具有汇聚功能的块状亚波长光栅反射镜设计 | 第52-55页 |
| 4.3.1 模型建立 | 第52页 |
| 4.3.2 设计方法 | 第52-54页 |
| 4.3.3 设计结果 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
| 第五章 绝缘衬底硅制备亚波长光栅反射镜及实验测试 | 第56-64页 |
| 5.1 加工技术介绍 | 第56-58页 |
| 5.1.1 抗蚀胶 | 第56-57页 |
| 5.1.2 光刻技术 | 第57-58页 |
| 5.2 制备工艺流程 | 第58-60页 |
| 5.3 基于高折射率差亚波长光栅的宽光谱高反射镜测试 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和成果 | 第69页 |