| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| 1.1 氧化铟锡晶格结构 | 第16-17页 |
| 1.2 ITO薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.2.1 磁控溅射法 | 第17-18页 |
| 1.2.2 喷雾热分解法 | 第18页 |
| 1.2.3 溶胶-凝胶法 | 第18页 |
| 1.2.4 水热法 | 第18-19页 |
| 1.3 ITO靶材的制备方法 | 第19-25页 |
| 1.3.1 ITO靶材的成形工艺 | 第20-22页 |
| 1.3.2 ITO靶材的烧结工艺 | 第22-23页 |
| 1.3.3 影响ITO靶材性能的主要因素 | 第23-24页 |
| 1.3.4 ITO靶材的现状及应对措施 | 第24-25页 |
| 1.4 ITO粉体的制备方法 | 第25-27页 |
| 1.4.1 共沉淀法 | 第25页 |
| 1.4.2 溶剂热法 | 第25-26页 |
| 1.4.3 喷雾热解法 | 第26页 |
| 1.4.4 电解法 | 第26页 |
| 1.4.5 机械球磨法 | 第26-27页 |
| 1.5 课题的立论、目的和意义 | 第27页 |
| 1.6 课题研究的主要内容 | 第27-29页 |
| 第二章 实验部分 | 第29-34页 |
| 2.1 实验原料 | 第29页 |
| 2.2 实验仪器及设备 | 第29-30页 |
| 2.3 实验方法 | 第30-32页 |
| 2.3.1 共沉淀法制备ITO纳米粉体 | 第30-31页 |
| 2.3.2 溶剂热法制备ITO纳米粉体 | 第31页 |
| 2.3.3 ITO靶材的制备 | 第31-32页 |
| 2.4 表征与测试方法 | 第32-34页 |
| 2.4.1 物相表征 | 第32页 |
| 2.4.2 透射电镜测试 | 第32页 |
| 2.4.3 扫描电镜测试 | 第32-33页 |
| 2.4.4 相对密度测试 | 第33页 |
| 2.4.5 靶材元素成分及含量测试 | 第33页 |
| 2.4.6 电性能测试 | 第33-34页 |
| 第三章 ITO粉体的制备及其对ITO靶材性能的影响 | 第34-54页 |
| 3.1 溶剂热法制备ITO粉体 | 第34-42页 |
| 3.1.1 溶剂比例对ITO粉体物相、形貌的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.2 反应时间对ITO粉体颗粒的影响 | 第35-37页 |
| 3.1.3 NaOH浓度对ITO纳米粉体的物相及形貌影响 | 第37-38页 |
| 3.1.4 溶剂对ITO粉体的影响 | 第38-39页 |
| 3.1.5 ITO纳米粉体的电导性 | 第39-42页 |
| 3.1.6 小结 | 第42页 |
| 3.2 ITO粉体对ITO靶材性能的影响 | 第42-54页 |
| 3.2.1 ITO纳米粉体形貌 | 第43页 |
| 3.2.2 粉体性质对ITO素坯性能的影响 | 第43-45页 |
| 3.2.3 粉体性质对ITO靶材性能的影响 | 第45-50页 |
| 3.2.4 不同粉体制备方法对ITO靶材的影响 | 第50-52页 |
| 3.2.5 小结 | 第52-54页 |
| 第四章 制备工艺对ITO靶材的影响 | 第54-60页 |
| 4.1 粘结剂种类对ITO靶材制备的影响 | 第54-55页 |
| 4.2 模压成型压力对ITO初坯的影响 | 第55-56页 |
| 4.3 冷等静压压力对ITO靶材的影响 | 第56-59页 |
| 4.4 小结 | 第59-60页 |
| 第五章 烧结助剂对ITO靶材的影响 | 第60-76页 |
| 5.1 烧结助剂三氧化二锑对ITO靶材性能的影响 | 第60-69页 |
| 5.1.1 Sb_2O_3加入量对ITO靶材物相、相对理论密度、电阻率及微观形貌的影响 | 第61-66页 |
| 5.1.2 工艺改进对添加Sb_2O_3烧结ITO靶材相对理论密度、电阻率及微观结构的影响 | 第66-68页 |
| 5.1.3 小结 | 第68-69页 |
| 5.2 二元烧结助剂Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材的影响 | 第69-76页 |
| 5.2.1 Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材物相的影响 | 第69-71页 |
| 5.2.2 Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材相对密度及微观结构的影响 | 第71-73页 |
| 5.2.3 不同烧结温度添加Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材微观结构的影响 | 第73-74页 |
| 5.2.4 Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材电阻率的影响 | 第74-75页 |
| 5.2.5 小结 | 第75-76页 |
| 第六章 结论 | 第76-78页 |
| 6.1 ITO粉体的制备及其对ITO靶材性能的影响 | 第76页 |
| 6.1.1 溶剂热法制备ITO粉体 | 第76页 |
| 6.1.2 ITO粉体性能对ITO靶材性能的影响 | 第76页 |
| 6.2 制备工艺对ITO靶材的影响 | 第76-77页 |
| 6.3 烧结助剂对ITO靶材的影响 | 第77-78页 |
| 6.3.1 烧结助剂Sb_2O_3对ITO靶材的影响 | 第77页 |
| 6.3.2 二元烧结助剂Bi_2O_3和Sb_2O_3对ITO靶材的影响 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 研究成果和发表的学术论文 | 第84-85页 |
| 作者及导师简介 | 第85-86页 |
| 附件 | 第86-87页 |
