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纳米操作机驱动装置控制方法研究与实验设计

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第1章 绪论第11-17页
    1.1 课题背景第11-12页
        1.1.1 纳米技术第11页
        1.1.2 纳米操作系统第11-12页
    1.2 研究现状第12-14页
        1.2.1 纳米技术现状第12页
        1.2.2 纳米操作系统现状第12-14页
        1.2.3 驱动器控制技术现状第14页
    1.3 课题来源第14页
    1.4 本文研究内容第14-17页
第2章 SEM和纳米操作机集成设计第17-25页
    2.1 SEM扫描电镜第17-19页
    2.2 纳米操作机第19-20页
    2.3 SEM与纳米操作机集成第20-22页
    2.4 粘滑驱动电路设计第22-24页
        2.4.1 粘滑驱动原理第22-24页
        2.4.2 驱动电路设计第24页
    2.5 本章小结第24-25页
第3章 驱动器建模及其闭环控制第25-37页
    3.1 压电致动器建模第25-28页
        3.1.1 电气特性建模第26-27页
        3.1.2 机械特性建模第27-28页
    3.2 常规PID第28-29页
    3.3 数字PID第29-31页
        3.3.1 位置式PID控制第30页
        3.3.2 增量式PID控制第30页
        3.3.3 积分分离PID控制第30页
        3.3.4 抗饱和积分PID控制第30-31页
    3.4 数字PID参数整定第31-35页
        3.4.1 控制率的选择第31页
        3.4.2 参数整定第31-33页
        3.4.3 S函数说明第33页
        3.4.4 Simulink仿真第33-34页
        3.4.5 仿真结果第34-35页
    3.5 本章小结第35-37页
第4章 改进后的BP-PID控制算法研究第37-55页
    4.1 BP神经网络算法设计第38-45页
        4.1.1 BP神经网络的结构设计第38-39页
        4.1.2 BP算法设计第39-43页
        4.1.3 BP神经网络的学习步骤设计第43页
        4.1.4 BP神经网络实现第43-45页
    4.2 基于BP神经网络的PID控制算法研究第45-48页
        4.2.1 控制系统数学模型第45-46页
        4.2.2 函数信号和误差信号的计算第46-47页
        4.2.3 BP神经网络的训练第47-48页
    4.3 控制系统仿真研究第48-53页
        4.3.1 实验结果及分析第49-52页
        4.3.2 控制算法的改进第52-53页
    4.4 本章小结第53-55页
第5章 实验方法研究第55-65页
    5.1 实验系统结构设计第55-56页
    5.2 实验操作动作设计第56-59页
        5.2.1 纳米线操平移操作策略第56-57页
        5.2.2 EBID操作第57页
        5.2.3 纳米线的拾取放置操作第57-59页
    5.3 电阻测量第59-60页
    5.4 硅纳米线压阻测量第60-62页
        5.4.1 MEMS传感器第60-61页
        5.4.2 肖特基势垒第61-62页
    5.5 四探针测量纳米线第62-64页
    5.6 本章小结第64-65页
结论第65-67页
参考文献第67-73页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果第73-75页
附录A 主要参数表第75-77页
致谢第77页

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