纳米操作机驱动装置控制方法研究与实验设计
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第11-17页 |
1.1 课题背景 | 第11-12页 |
1.1.1 纳米技术 | 第11页 |
1.1.2 纳米操作系统 | 第11-12页 |
1.2 研究现状 | 第12-14页 |
1.2.1 纳米技术现状 | 第12页 |
1.2.2 纳米操作系统现状 | 第12-14页 |
1.2.3 驱动器控制技术现状 | 第14页 |
1.3 课题来源 | 第14页 |
1.4 本文研究内容 | 第14-17页 |
第2章 SEM和纳米操作机集成设计 | 第17-25页 |
2.1 SEM扫描电镜 | 第17-19页 |
2.2 纳米操作机 | 第19-20页 |
2.3 SEM与纳米操作机集成 | 第20-22页 |
2.4 粘滑驱动电路设计 | 第22-24页 |
2.4.1 粘滑驱动原理 | 第22-24页 |
2.4.2 驱动电路设计 | 第24页 |
2.5 本章小结 | 第24-25页 |
第3章 驱动器建模及其闭环控制 | 第25-37页 |
3.1 压电致动器建模 | 第25-28页 |
3.1.1 电气特性建模 | 第26-27页 |
3.1.2 机械特性建模 | 第27-28页 |
3.2 常规PID | 第28-29页 |
3.3 数字PID | 第29-31页 |
3.3.1 位置式PID控制 | 第30页 |
3.3.2 增量式PID控制 | 第30页 |
3.3.3 积分分离PID控制 | 第30页 |
3.3.4 抗饱和积分PID控制 | 第30-31页 |
3.4 数字PID参数整定 | 第31-35页 |
3.4.1 控制率的选择 | 第31页 |
3.4.2 参数整定 | 第31-33页 |
3.4.3 S函数说明 | 第33页 |
3.4.4 Simulink仿真 | 第33-34页 |
3.4.5 仿真结果 | 第34-35页 |
3.5 本章小结 | 第35-37页 |
第4章 改进后的BP-PID控制算法研究 | 第37-55页 |
4.1 BP神经网络算法设计 | 第38-45页 |
4.1.1 BP神经网络的结构设计 | 第38-39页 |
4.1.2 BP算法设计 | 第39-43页 |
4.1.3 BP神经网络的学习步骤设计 | 第43页 |
4.1.4 BP神经网络实现 | 第43-45页 |
4.2 基于BP神经网络的PID控制算法研究 | 第45-48页 |
4.2.1 控制系统数学模型 | 第45-46页 |
4.2.2 函数信号和误差信号的计算 | 第46-47页 |
4.2.3 BP神经网络的训练 | 第47-48页 |
4.3 控制系统仿真研究 | 第48-53页 |
4.3.1 实验结果及分析 | 第49-52页 |
4.3.2 控制算法的改进 | 第52-53页 |
4.4 本章小结 | 第53-55页 |
第5章 实验方法研究 | 第55-65页 |
5.1 实验系统结构设计 | 第55-56页 |
5.2 实验操作动作设计 | 第56-59页 |
5.2.1 纳米线操平移操作策略 | 第56-57页 |
5.2.2 EBID操作 | 第57页 |
5.2.3 纳米线的拾取放置操作 | 第57-59页 |
5.3 电阻测量 | 第59-60页 |
5.4 硅纳米线压阻测量 | 第60-62页 |
5.4.1 MEMS传感器 | 第60-61页 |
5.4.2 肖特基势垒 | 第61-62页 |
5.5 四探针测量纳米线 | 第62-64页 |
5.6 本章小结 | 第64-65页 |
结论 | 第65-67页 |
参考文献 | 第67-73页 |
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第73-75页 |
附录A 主要参数表 | 第75-77页 |
致谢 | 第77页 |