带电粒子环境下低真空度测试技术研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 气体环境中的带电粒子对低真空测量的影响 | 第16-23页 |
| 1.2.1 薄膜真空计 | 第17-18页 |
| 1.2.2 振膜真空计 | 第18-20页 |
| 1.2.3 石英真空计 | 第20-21页 |
| 1.2.4 小结 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜真空计改进的理论分析及方案论证 | 第23-43页 |
| 2.1 屏蔽方式分析 | 第23-25页 |
| 2.1.1 “绝对型”的结构设计 | 第23-24页 |
| 2.1.2 材料的选择 | 第24-25页 |
| 2.2 膜片受力形变分析 | 第25-27页 |
| 2.3 温度及饱和水蒸气的影响分析 | 第27-29页 |
| 2.3.1 温度对真空测量的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.2 饱和水蒸气对真空测量的影响 | 第28-29页 |
| 2.4 加热及保温结构设计分析 | 第29-42页 |
| 2.4.1 加热及保温温度的确定 | 第29-30页 |
| 2.4.2 加热形式及保温材料选择 | 第30-33页 |
| 2.4.3 加热及保温结构设计 | 第33-35页 |
| 2.4.4 加热及保温结构温度场有限元仿真 | 第35-42页 |
| 2.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 测量电路设计 | 第43-53页 |
| 3.1 前期设计分析 | 第43页 |
| 3.2 稳压源的设计 | 第43-44页 |
| 3.3 真空度测量电路设计 | 第44-48页 |
| 3.4 温度测量电路设计 | 第48-50页 |
| 3.4.1 传感器的选择 | 第48-49页 |
| 3.4.2 电路原理设计 | 第49-50页 |
| 3.5 加热控制电路设计 | 第50-51页 |
| 3.6 寄生电容的应对 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 Freescale单片机系统设计 | 第53-73页 |
| 4.1 Freescale单片机特色 | 第53-54页 |
| 4.2 开发环境 | 第54-55页 |
| 4.3 系统框图 | 第55-56页 |
| 4.4 真空度信号采集模块的设计 | 第56-59页 |
| 4.4.1 采集模块选择 | 第56页 |
| 4.4.2 采集模块工作原理 | 第56-57页 |
| 4.4.3 采集模块框图设计 | 第57-58页 |
| 4.4.4 采集模块程序设计 | 第58-59页 |
| 4.5 温度信号采集及控制模块的设计 | 第59-64页 |
| 4.5.1 采集及控制模块选择 | 第59-60页 |
| 4.5.2 采集及控制模块工作原理 | 第60-61页 |
| 4.5.3 采集及控制模块框图设计 | 第61-62页 |
| 4.5.4 采集及控制模块程序设计 | 第62-64页 |
| 4.6 显示模块的设计 | 第64-72页 |
| 4.6.1 显示屏的选择 | 第64-67页 |
| 4.6.2 显示模块框图设计 | 第67页 |
| 4.6.3 显示模块程序设计 | 第67-72页 |
| 4.7 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 成果与展望 | 第73-80页 |
| 5.1 成果展示 | 第73-78页 |
| 5.1.1 真空度测量功能 | 第74-75页 |
| 5.1.2 温度测量与控制功能 | 第75-78页 |
| 5.2 全文总结 | 第78-79页 |
| 5.3 不足之处及展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第84页 |
