| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题的研究背景及来源 | 第9-10页 |
| 1.2 微细电火花加工原理及其关键技术 | 第10-16页 |
| 1.2.1 微细电火花加工原理 | 第10页 |
| 1.2.2 微细电火花加工中的关键技术 | 第10-13页 |
| 1.2.3 精密微冲裁模具的制作 | 第13-16页 |
| 2 微细电火花加工实验装置及控制系统 | 第16-34页 |
| 2.1 微细电火花加工实验装置 | 第16-20页 |
| 2.1.1 伺服运动定位系统 | 第17页 |
| 2.1.2 WEDG | 第17-18页 |
| 2.1.3 主轴单元 | 第18页 |
| 2.1.4 脉冲放电及放电检测电路 | 第18-19页 |
| 2.1.5 超声波辅助振动工作液单元 | 第19页 |
| 2.1.6 在线观测及精密测量设备 | 第19-20页 |
| 2.1.7 机床床身 | 第20页 |
| 2.2 微细电火花加工控制系统设计 | 第20-34页 |
| 2.2.1 手动控制模块 | 第22-23页 |
| 2.2.2 主轴旋转模块 | 第23-24页 |
| 2.2.3 电极制作模块 | 第24-26页 |
| 2.2.4 单孔加工模块 | 第26-27页 |
| 2.2.5 多孔加工模块 | 第27-28页 |
| 2.2.6 三维加工模块 | 第28-34页 |
| 3 超声波辅助振动工作液对微细电火花加工的影响 | 第34-52页 |
| 3.1 超声波辅助振动工件上表面工作液的钻孔实验 | 第34-43页 |
| 3.1.1 超声波辅助振动装置 | 第35页 |
| 3.1.2 超声波辅助振动工作液的电火花钻孔实验 | 第35-43页 |
| 3.1.3 实验结论 | 第43页 |
| 3.2 超声波辅助振动工件底部工作液的反拷贝加工实验 | 第43-50页 |
| 3.2.1 超声波辅助振动装置 | 第43-45页 |
| 3.2.2 超声波辅助振动工作液的电火花反拷贝实验 | 第45-50页 |
| 3.3 两种超声波辅助振动工作液效果对比 | 第50-52页 |
| 4 精密微冲裁模具的制作 | 第52-70页 |
| 4.1 凹模的制作 | 第53-58页 |
| 4.1.1 凹模的制作工艺 | 第53-54页 |
| 4.1.2 凹模的预设加工参数 | 第54-55页 |
| 4.1.3 凹模加工参数确定实验 | 第55-57页 |
| 4.1.4 凹模的加工结果 | 第57-58页 |
| 4.2 凸模的制作 | 第58-64页 |
| 4.2.1 凸模的制作工艺 | 第58-59页 |
| 4.2.2 反拷贝凸模加工参数确定实验 | 第59-60页 |
| 4.2.3 反拷贝电极的制作 | 第60-63页 |
| 4.2.4 反拷贝加工凸模 | 第63-64页 |
| 4.3 凸凹模精度分析 | 第64-70页 |
| 4.3.1 尺寸误差统计 | 第64-65页 |
| 4.3.2 尺寸误差分析 | 第65-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |