| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 超硬材料微结构的超精密磨削加工研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 超硬材料的 ELID 磨削技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本课题主要研究的内容 | 第16-18页 |
| 第2章 磨削实验台的搭建及砂轮的精密修整 | 第18-25页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 ELID 电极的设计与加工 | 第18-19页 |
| 2.2.1 电极材料的选择 | 第18-19页 |
| 2.2.2 电极的设计与加工 | 第19页 |
| 2.3 实验台的搭建 | 第19-22页 |
| 2.4 V 形金刚石砂轮的修整 | 第22-24页 |
| 2.4.1 修整方案的确定及数控程序的编制 | 第22页 |
| 2.4.2 砂轮的修整与检测 | 第22-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 超硬微结构光学功能表面 ELID 磨削工艺研究 | 第25-34页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 磨削方式对 ELID 磨削微结构的影响研究 | 第25-27页 |
| 3.2.1 ELID 微结构磨削方式对比实验 | 第25-26页 |
| 3.2.2 磨削方式对于 ELID 磨削微结构的影响分析 | 第26-27页 |
| 3.3 电源参数对 ELID 磨削微结构的影响研究 | 第27-29页 |
| 3.3.1 ELID 电源参数对照实验 | 第27-28页 |
| 3.3.2 电源参数对 ELID 磨削微结构影响分析 | 第28-29页 |
| 3.4 电极间距对 ELID 磨削微结构的影响研究 | 第29-31页 |
| 3.4.1 ELID 磨削电极间距对比实验 | 第29-30页 |
| 3.4.2 电极间距对于 ELID 磨削微结构的影响分析 | 第30-31页 |
| 3.5 光磨对于 ELID 磨削微结构的影响研究 | 第31-33页 |
| 3.5.1 ELID 光磨对比实验 | 第31-32页 |
| 3.5.2 ELID 光磨对比实验结果分析 | 第32-33页 |
| 3.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 超硬微结构光学功能表面 ELID 正交实验研究 | 第34-45页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 ELID 磨削正交实验方案设计 | 第34-35页 |
| 4.3 氮化硅微结构 ELID 磨削正交实验研究 | 第35-39页 |
| 4.3.1 氮化硅 ELID 磨削正交实验结果分析 | 第35-37页 |
| 4.3.2 氮化硅普通磨削正交实验结果分析 | 第37-39页 |
| 4.3.3 氮化硅 ELID 磨削与普通磨削对比分析 | 第39页 |
| 4.4 碳化钨微结构 ELID 磨削正交实验研究 | 第39-44页 |
| 4.4.1 碳化钨 ELID 磨削正交实验结果分析 | 第39-42页 |
| 4.4.2 碳化钨普通磨削工艺实验结果分析 | 第42-44页 |
| 4.4.3 碳化钨 ELID 磨削与普通磨削对比分析 | 第44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 超硬微结构光学功能表面亚表层损伤研究 | 第45-54页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 亚表层检测方案的确定及抛光工件的制备 | 第45-48页 |
| 5.2.1 亚表层检测方案的确定 | 第45页 |
| 5.2.2 试件的制备 | 第45-48页 |
| 5.3 磨削实验及亚表层损伤检测分析 | 第48-53页 |
| 5.3.1 磨削实验设计 | 第48页 |
| 5.3.2 扫描电镜观察亚表层损伤结果及分析 | 第48-50页 |
| 5.3.3 纳米压痕检测亚表层损伤结果及分析 | 第50-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
