| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 下装系统国内外研究现状及分析 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国外下装系统研究现状及分析 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内下装系统研究现状及分析 | 第14-16页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 洁净精密下装系统设计 | 第17-30页 |
| 2.1 下装设备总体设计 | 第17-19页 |
| 2.1.1 下装设备总体设计指标 | 第17页 |
| 2.1.2 下装设备工作流程分析 | 第17-18页 |
| 2.1.3 下装设备总体方案 | 第18-19页 |
| 2.2 下装设备底盘调平机构设计 | 第19-22页 |
| 2.3 三自由度校准机构设计 | 第22-27页 |
| 2.3.1 三自由度校准机构结构设计 | 第26页 |
| 2.3.2 三自由度校准机构定位精度分析 | 第26-27页 |
| 2.4 柔性装置设计 | 第27-28页 |
| 2.5 垂直提升机构设计 | 第28-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 洁净精密下装系统的动静态特性分析 | 第30-41页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 下装设备静态特性分析 | 第30-36页 |
| 3.2.1 下装设备有限元建模 | 第30-31页 |
| 3.2.2 下装设备有限元模型组装 | 第31-33页 |
| 3.2.3 下装设备有限元静力分析 | 第33-36页 |
| 3.3 下装设备有限元模态分析 | 第36-40页 |
| 3.3.1 模态分析理论 | 第36-37页 |
| 3.3.2 下装设备模态分析的方法及步骤 | 第37页 |
| 3.3.3 下装设备模态结果分析 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 洁净精密下装系统关键技术研究 | 第41-67页 |
| 4.1 下装设备底盘调平方法研究 | 第41-45页 |
| 4.2 三自由度校准机构运动特性分析 | 第45-58页 |
| 4.2.1 三自由度校准机构构型分析 | 第46页 |
| 4.2.2 三自由度校准机构位姿分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 三自由度校准机构的雅可比矩阵 | 第47页 |
| 4.2.4 三自由度校准机构工作空间分析 | 第47-49页 |
| 4.2.5 三自由度校准机构的灵巧度分析 | 第49-51页 |
| 4.2.6 三自由度校准机构误差精度分析 | 第51-58页 |
| 4.3 光学组件柔顺装配分析 | 第58-65页 |
| 4.3.1 光学组件装配约束条件 | 第58-60页 |
| 4.3.2 光学组件装配过程力学分析 | 第60-63页 |
| 4.3.3 光学组件装配力的影响参数分析 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 校准机构动力学分析与仿真 | 第67-78页 |
| 5.1 基于等效元素集成法的多刚体动力学建模 | 第67-69页 |
| 5.2 三自由度校准机构动力学建模 | 第69-74页 |
| 5.2.1 三自由度校准机构等效模型建立 | 第69页 |
| 5.2.2 三自由度校准机构的转换矩阵 | 第69-71页 |
| 5.2.3 三自由度校准机构系统等效质量阵 | 第71-73页 |
| 5.2.4 三自由度校准机构系统等效力阵 | 第73页 |
| 5.2.5 三自由度校准机构动力学模型 | 第73-74页 |
| 5.3 基于ADAMS的三自由度校准机构动力学分析 | 第74-77页 |
| 5.3.1 三自由度校准机构ADAMS几何模型建立 | 第74-75页 |
| 5.3.2 基于ADAMS的三自由度校准机构仿真分析 | 第75-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
