| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 MEMS压力传感器概述 | 第10-14页 |
| 1.2.1 MEMS压力传感器应用 | 第10-11页 |
| 1.2.2 MEMS压力传感器国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 敏感材料PZT和BiFe03的压电性能 | 第12-14页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 MEMS压力传感器结构设计 | 第16-22页 |
| 2.1 MEMS压力传感器结构和工作原理 | 第16-18页 |
| 2.2 MEMS压力传感器尺寸选择 | 第18-20页 |
| 2.3 掩膜版的设计 | 第20-21页 |
| 2.4 本章总结 | 第21-22页 |
| 第三章 微压力传感器的制作工艺研究 | 第22-42页 |
| 3.1 微机械加工工艺研究 | 第22-26页 |
| 3.1.1 薄膜淀积技术 | 第23页 |
| 3.1.2 光刻技术 | 第23-24页 |
| 3.1.3 刻蚀技术 | 第24-26页 |
| 3.1.4 剥离技术 | 第26页 |
| 3.2 MEMS压力传感器的制作工艺研究 | 第26-41页 |
| 3.2.1 微机械加工工艺流程的设计 | 第26-31页 |
| 3.2.2 PZT压电薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 3.2.3 叉指电极的制作 | 第32-36页 |
| 3.2.4 压力弹性薄膜腔的制作 | 第36-40页 |
| 3.2.5 PDMS薄膜的制作 | 第40-41页 |
| 3.3 本章总结 | 第41-42页 |
| 第四章 静电纺丝技术与BiFeO_3纤维性能分析 | 第42-56页 |
| 4.1 静电纺丝技术研究 | 第42-48页 |
| 4.1.1 静电纺丝工作原理 | 第42-44页 |
| 4.1.2 静电纺丝工艺设计 | 第44-46页 |
| 4.1.3 静电纺丝工艺分析 | 第46-48页 |
| 4.2 BiFeO_3纤维退火形貌 | 第48-50页 |
| 4.3 纳米材料的表征分析 | 第50-54页 |
| 4.3.1 BiFeO_3纤维SEM形貌分析 | 第51-53页 |
| 4.3.2 BiFeO_3纤维XRD图谱分析 | 第53-54页 |
| 4.4 BiFeO_3压电性能分析 | 第54-55页 |
| 4.5 本章总结 | 第55-56页 |
| 第五章 测试实验及数据分析 | 第56-68页 |
| 5.1 测试目的 | 第56页 |
| 5.2 工作原理及实验装置 | 第56-58页 |
| 5.3 实验方案设计 | 第58-59页 |
| 5.4 测试结果分析 | 第59-67页 |
| 5.5 本章总结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 在学期间的研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |