MEMS探空气压传感器测试系统的优化设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 MEMS技术发展与展望 | 第8-9页 |
| 1.3 气压传感器的发展和现状 | 第9-12页 |
| 1.3.1 电容式压力传感器 | 第11页 |
| 1.3.2 压阻式压力传感器 | 第11-12页 |
| 1.4 论文主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 压阻式压力传感器基本理论 | 第14-32页 |
| 2.1 压阻效应 | 第14-16页 |
| 2.2 惠斯通电桥 | 第16-17页 |
| 2.3 传感器设计 | 第17-22页 |
| 2.3.1 方形膜应力分布理论 | 第17-20页 |
| 2.3.2 传感器设计制作 | 第20-22页 |
| 2.4 传感器性能指标 | 第22-24页 |
| 2.5 压阻式传感器温漂补偿方法 | 第24-30页 |
| 2.5.1 硬件补偿 | 第24-26页 |
| 2.5.1.1 片内补偿 | 第25页 |
| 2.5.1.2 片外补偿 | 第25-26页 |
| 2.5.2 软件补偿 | 第26-29页 |
| 2.5.2.1 曲线拟合 | 第27-28页 |
| 2.5.2.2 插值法 | 第28-29页 |
| 2.5.3 现代信号调理技术 | 第29-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 温度效应理论研究 | 第32-38页 |
| 3.1 零点漂移 | 第32-33页 |
| 3.2 灵敏度漂移 | 第33-35页 |
| 3.3 传感器输出公式模型 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 传感器测试电路设计 | 第38-54页 |
| 4.1 电路功能实现 | 第38-39页 |
| 4.2 微控制器电路 | 第39-42页 |
| 4.2.1 电源模块设计 | 第41页 |
| 4.2.2 外部晶振设计 | 第41-42页 |
| 4.2.3 复位电路 | 第42页 |
| 4.2.4 启动模式设计 | 第42页 |
| 4.2.5 串口通信设计 | 第42页 |
| 4.3 A/D转换器电路 | 第42-44页 |
| 4.4 液晶模块 | 第44-45页 |
| 4.5 测试系统板介绍 | 第45-46页 |
| 4.6 软件部分设计 | 第46-48页 |
| 4.6.1 SPI驱动总线 | 第46-47页 |
| 4.6.2 I~2C驱动总线 | 第47-48页 |
| 4.7 自动化批量检测 | 第48-52页 |
| 4.8 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 测试数据分析 | 第54-66页 |
| 5.1 测试仪器介绍 | 第54-55页 |
| 5.2 传感器性能分析 | 第55-64页 |
| 5.2.1 压敏电阻阻值变化分析 | 第55-58页 |
| 5.2.1.1 灵敏度研究 | 第56-57页 |
| 5.2.1.2 压敏电阻温度系数研究 | 第57-58页 |
| 5.2.2 压阻传感器性能分析 | 第58-62页 |
| 5.2.3 传感器温度补偿 | 第62-63页 |
| 5.2.4 实验数据标定 | 第63-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66-67页 |
| 6.2 存在的问题 | 第67页 |
| 6.3 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
