| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 引言 | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 等离子体综述 | 第7-8页 |
| 1.2 介质阻挡放电 | 第8-10页 |
| 1.2.1 介质阻挡放电的电极结构 | 第8-9页 |
| 1.2.2 介质阻挡放电模式 | 第9-10页 |
| 1.3 等离子体的光谱诊断 | 第10-16页 |
| 1.3.1 质谱法 | 第10-11页 |
| 1.3.2 发射光谱法 | 第11-13页 |
| 1.3.3 吸收光谱 | 第13-14页 |
| 1.3.4 光腔衰荡光谱技术 | 第14-15页 |
| 1.3.5 腔增强光谱技术 | 第15-16页 |
| 1.4 本工作选题和主要工作 | 第16-17页 |
| 2 实验装置 | 第17-21页 |
| 2.1 介质阻挡放电等离子体检测系统 | 第17-18页 |
| 2.1.1 放电腔室结构 | 第17-18页 |
| 2.1.2 配气、抽气系统 | 第18页 |
| 2.2 二极管吸收光谱技术光路诊断装置 | 第18-21页 |
| 2.2.1 系统结构和仪器介绍 | 第18-20页 |
| 2.2.2 仪器设置 | 第20-21页 |
| 3 吸收光谱法测定亚稳态 1s5的数密度和温度 | 第21-36页 |
| 3.1 物种数密度和温度计算原理 | 第21-23页 |
| 3.2 数据整理 | 第23-35页 |
| 3.2.1 数据采集、拟合与周期划分 | 第23-28页 |
| 3.2.2 实验结果与分析 | 第28-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 放电参数对亚稳态 1s5和 1s3数密度和温度的影响 | 第36-47页 |
| 4.1 放电参数对亚稳态 1s5和 1s3数密度的影响 | 第36-42页 |
| 4.1.1 放电气压对 1s5和 1s3数密度的影响 | 第36-38页 |
| 4.1.2 流量对 1s5和 1s3数密度的影响 | 第38-39页 |
| 4.1.3 放电电压对 1s5和 1s3数密度的影响 | 第39-41页 |
| 4.1.4 极板间距对 1s5和 1s3数密度的影响 | 第41-42页 |
| 4.2 放电参数对气体温度的影响 | 第42-46页 |
| 4.2.1 放电气压对气体温度的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.2 流量对气体温度的影响 | 第43-45页 |
| 4.2.3 放电电压对气体温度的影响 | 第45-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
