压电型微固体模态陀螺的性能优化及检测
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·MEMS 概述 | 第9页 |
| ·陀螺概述 | 第9-12页 |
| ·微机电陀螺概述 | 第12-13页 |
| ·全固态陀螺概述 | 第13-20页 |
| ·微型声表面波陀螺 | 第13-15页 |
| ·微型光学陀螺 | 第15-16页 |
| ·微型半球谐振陀螺 | 第16-18页 |
| ·微型压电固态陀螺 | 第18-20页 |
| ·本文的研究内容 | 第20页 |
| ·课题的研究意义 | 第20-21页 |
| ·论文结构 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第二章 压电型微固体模态陀螺的结构及工作原理 | 第23-31页 |
| ·压电效应及压电材料 | 第23-26页 |
| ·压电效应 | 第23-24页 |
| ·压电材料 | 第24-25页 |
| ·锆钛酸铅(PZT)材料介绍 | 第25-26页 |
| ·压电型微固体模态陀螺的工作原理 | 第26-29页 |
| ·哥氏效应 | 第26-28页 |
| ·压电型微固体模态陀螺的工作原理 | 第28-29页 |
| ·压电型微固体模态陀螺的结构 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 压电型微固体模态陀螺的有限元仿真及优化 | 第31-52页 |
| ·有限元仿真及优化的意义及步骤 | 第31页 |
| ·有限元仿真及优化的意义 | 第31页 |
| ·有限元仿真及优化的步骤 | 第31页 |
| ·ANSYS 有限元分析软件介绍 | 第31-32页 |
| ·概述 | 第31-32页 |
| ·ANSYS 有限元分析的典型步骤 | 第32页 |
| ·ANSYS 有限元分析的操作方法 | 第32页 |
| ·选定单元类型 | 第32-34页 |
| ·设定材料类型及材料参数 | 第34-35页 |
| ·模型构建及网络划分 | 第35-37页 |
| ·模型构建 | 第35-36页 |
| ·网络划分 | 第36-37页 |
| ·建立定量指标 | 第37-40页 |
| ·压电型微固体模态陀螺模态分析及器件尺寸优化 | 第40-42页 |
| ·压电型微固体模态陀螺模态分析 | 第40-41页 |
| ·压电型微固体模态陀螺尺寸优化 | 第41-42页 |
| ·压电型微固体模态陀螺谐振分析及驱动电极优化 | 第42-48页 |
| ·压电型微固体模态陀螺谐振分析 | 第42-44页 |
| ·压电型微固体模态陀螺驱动电极优化 | 第44-48页 |
| ·压电型微固体模态陀螺哥氏效应分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 压电型微固体模态陀螺的加工工艺 | 第52-57页 |
| ·基本加工工艺 | 第52-54页 |
| ·切割工艺 | 第54-55页 |
| ·陀螺安装 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 压电型微固体模态陀螺的驱动电路及检测结果 | 第57-64页 |
| ·驱动电路 | 第57-59页 |
| ·检测电路 | 第59-61页 |
| ·检测结果 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结和展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64-65页 |
| ·研究展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
