共光路动态干涉仪的关键技术研究
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-8页 |
第1章 绪论 | 第13-23页 |
1.1 课题研究背景及意义 | 第13-14页 |
1.2 动态干涉仪的发展现状 | 第14-20页 |
1.2.1 迈克尔逊干涉仪 | 第14-15页 |
1.2.2 共光路干涉仪 | 第15-18页 |
1.2.3 随机移相干涉术 | 第18页 |
1.2.4 同步移相干涉术 | 第18-19页 |
1.2.5 其他干涉仪 | 第19-20页 |
1.3 本文主要工作和内容安排 | 第20-23页 |
1.3.1 本文主要工作 | 第20-21页 |
1.3.2 内容安排 | 第21-23页 |
第2章 共光路动态干涉仪系统研究 | 第23-47页 |
2.1 引言 | 第23页 |
2.2 动态干涉仪的基本原理 | 第23-26页 |
2.3 常见的移相方式 | 第26-29页 |
2.3.1 压电晶体法 | 第26页 |
2.3.2 倾斜玻璃法 | 第26-27页 |
2.3.3 光栅衍射法 | 第27-28页 |
2.3.4 声光调制法 | 第28页 |
2.3.5 偏振移相法 | 第28-29页 |
2.3.6 波长调谐移相法 | 第29页 |
2.4 同步移相分光设计研究 | 第29-35页 |
2.4.1 偏振的琼斯矩阵表示 | 第29-31页 |
2.4.2 偏振移相分光原理 | 第31-35页 |
2.5 共光路斐索型动态干涉仪原理 | 第35-37页 |
2.6 共光路动态干涉仪设计研究 | 第37-45页 |
2.6.1 共光路斐索型动态干涉仪光路分析 | 第37-38页 |
2.6.2 共光路斐索型动态干涉仪光机结构 | 第38-45页 |
2.7 共光路动态干涉仪的关键技术 | 第45-46页 |
2.8 本章小结 | 第46-47页 |
第3章 共光路动态干涉仪图像配准 | 第47-77页 |
3.1 引言 | 第47页 |
3.2 条纹图位置关系对检测结果影响 | 第47-50页 |
3.3 常见的条纹图配准方法 | 第50-55页 |
3.3.1 光学图像配准方法概述 | 第51-52页 |
3.3.2 特征提取及匹配 | 第52-55页 |
3.4 基于物理匹配的改进图像配准方法 | 第55-70页 |
3.4.1 物理配准方法 | 第56-62页 |
3.4.2 改进编码元特征点的配准方法 | 第62-70页 |
3.5 实验结果与分析 | 第70-75页 |
3.6 本章小结 | 第75-77页 |
第4章 共光路动态干涉仪面型重构算法研究 | 第77-97页 |
4.1 引言 | 第77页 |
4.2 条纹图噪声分析 | 第77-80页 |
4.3 常见的干涉条纹图像预处理方法 | 第80-83页 |
4.3.1 中值滤波 | 第80页 |
4.3.2 均值滤波 | 第80-81页 |
4.3.3 同态滤波 | 第81-82页 |
4.3.4 小波变换 | 第82-83页 |
4.4 基于等值线窗口内小波分析的条纹图滤波方法 | 第83-90页 |
4.4.1 求取条纹方向 | 第83-86页 |
4.4.2 确定条纹等值线窗口 | 第86-87页 |
4.4.3 在等值线窗口内进行小波分析和滤波 | 第87-90页 |
4.5 条纹图相位提取算法 | 第90-91页 |
4.6 相位解包及面型重构算法 | 第91-94页 |
4.7 本章小结 | 第94-97页 |
第5章 干涉仪绝对面型检测误差补偿方法研究 | 第97-117页 |
5.1 引言 | 第97页 |
5.2 误差模型 | 第97-100页 |
5.2.1 面型误差理论 | 第97-99页 |
5.2.2 检测误差模型 | 第99-100页 |
5.3 传统误差校正方法 | 第100-106页 |
5.3.1 平面绝对检测 | 第100-101页 |
5.3.2 球面绝对检测 | 第101-102页 |
5.3.3 平移剪切绝对检测 | 第102-103页 |
5.3.4 旋转平均绝对检测 | 第103-106页 |
5.4 高精度旋转法 | 第106-113页 |
5.4.1 高精度旋转平均绝对检测原理 | 第107-110页 |
5.4.2 仿真实验与分析 | 第110-113页 |
5.5 检测实验结果与分析 | 第113-116页 |
5.6 本章小结 | 第116-117页 |
第6章 系统试验及误差分析 | 第117-129页 |
6.1 引言 | 第117页 |
6.2 系统试验 | 第117-121页 |
6.3 误差分析 | 第121-127页 |
6.3.1 干涉系统的误差分析 | 第122-124页 |
6.3.2 1/4 波片QWP的相位延迟量误差 | 第124-125页 |
6.3.3 偏振分光棱镜方位角误差 | 第125-126页 |
6.3.4 条纹图位置匹配误差 | 第126页 |
6.3.5 消偏振光棱镜NPBS | 第126-127页 |
6.4 本章小结 | 第127-129页 |
第7章 总结与展望 | 第129-131页 |
7.1 论文工作总结 | 第129-130页 |
7.2 创新性成果 | 第130页 |
7.3 未来展望 | 第130-131页 |
参考文献 | 第131-143页 |
在学期间学术成果情况 | 第143-146页 |
指导教师及作者简介 | 第146-147页 |
致谢 | 第147页 |