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共光路动态干涉仪的关键技术研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第1章 绪论第13-23页
    1.1 课题研究背景及意义第13-14页
    1.2 动态干涉仪的发展现状第14-20页
        1.2.1 迈克尔逊干涉仪第14-15页
        1.2.2 共光路干涉仪第15-18页
        1.2.3 随机移相干涉术第18页
        1.2.4 同步移相干涉术第18-19页
        1.2.5 其他干涉仪第19-20页
    1.3 本文主要工作和内容安排第20-23页
        1.3.1 本文主要工作第20-21页
        1.3.2 内容安排第21-23页
第2章 共光路动态干涉仪系统研究第23-47页
    2.1 引言第23页
    2.2 动态干涉仪的基本原理第23-26页
    2.3 常见的移相方式第26-29页
        2.3.1 压电晶体法第26页
        2.3.2 倾斜玻璃法第26-27页
        2.3.3 光栅衍射法第27-28页
        2.3.4 声光调制法第28页
        2.3.5 偏振移相法第28-29页
        2.3.6 波长调谐移相法第29页
    2.4 同步移相分光设计研究第29-35页
        2.4.1 偏振的琼斯矩阵表示第29-31页
        2.4.2 偏振移相分光原理第31-35页
    2.5 共光路斐索型动态干涉仪原理第35-37页
    2.6 共光路动态干涉仪设计研究第37-45页
        2.6.1 共光路斐索型动态干涉仪光路分析第37-38页
        2.6.2 共光路斐索型动态干涉仪光机结构第38-45页
    2.7 共光路动态干涉仪的关键技术第45-46页
    2.8 本章小结第46-47页
第3章 共光路动态干涉仪图像配准第47-77页
    3.1 引言第47页
    3.2 条纹图位置关系对检测结果影响第47-50页
    3.3 常见的条纹图配准方法第50-55页
        3.3.1 光学图像配准方法概述第51-52页
        3.3.2 特征提取及匹配第52-55页
    3.4 基于物理匹配的改进图像配准方法第55-70页
        3.4.1 物理配准方法第56-62页
        3.4.2 改进编码元特征点的配准方法第62-70页
    3.5 实验结果与分析第70-75页
    3.6 本章小结第75-77页
第4章 共光路动态干涉仪面型重构算法研究第77-97页
    4.1 引言第77页
    4.2 条纹图噪声分析第77-80页
    4.3 常见的干涉条纹图像预处理方法第80-83页
        4.3.1 中值滤波第80页
        4.3.2 均值滤波第80-81页
        4.3.3 同态滤波第81-82页
        4.3.4 小波变换第82-83页
    4.4 基于等值线窗口内小波分析的条纹图滤波方法第83-90页
        4.4.1 求取条纹方向第83-86页
        4.4.2 确定条纹等值线窗口第86-87页
        4.4.3 在等值线窗口内进行小波分析和滤波第87-90页
    4.5 条纹图相位提取算法第90-91页
    4.6 相位解包及面型重构算法第91-94页
    4.7 本章小结第94-97页
第5章 干涉仪绝对面型检测误差补偿方法研究第97-117页
    5.1 引言第97页
    5.2 误差模型第97-100页
        5.2.1 面型误差理论第97-99页
        5.2.2 检测误差模型第99-100页
    5.3 传统误差校正方法第100-106页
        5.3.1 平面绝对检测第100-101页
        5.3.2 球面绝对检测第101-102页
        5.3.3 平移剪切绝对检测第102-103页
        5.3.4 旋转平均绝对检测第103-106页
    5.4 高精度旋转法第106-113页
        5.4.1 高精度旋转平均绝对检测原理第107-110页
        5.4.2 仿真实验与分析第110-113页
    5.5 检测实验结果与分析第113-116页
    5.6 本章小结第116-117页
第6章 系统试验及误差分析第117-129页
    6.1 引言第117页
    6.2 系统试验第117-121页
    6.3 误差分析第121-127页
        6.3.1 干涉系统的误差分析第122-124页
        6.3.2 1/4 波片QWP的相位延迟量误差第124-125页
        6.3.3 偏振分光棱镜方位角误差第125-126页
        6.3.4 条纹图位置匹配误差第126页
        6.3.5 消偏振光棱镜NPBS第126-127页
    6.4 本章小结第127-129页
第7章 总结与展望第129-131页
    7.1 论文工作总结第129-130页
    7.2 创新性成果第130页
    7.3 未来展望第130-131页
参考文献第131-143页
在学期间学术成果情况第143-146页
指导教师及作者简介第146-147页
致谢第147页

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