| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究课题的来源及理论意义 | 第9-10页 |
| 1.2 物理气相沉积技术的国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.1 PVD涂层技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 PVD涂层技术的发展 | 第11页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的性能研究 | 第11-14页 |
| 1.3.1 类金刚薄膜的摩擦磨损性能 | 第11-13页 |
| 1.3.2 类金刚石薄膜的结合力性能 | 第13-14页 |
| 1.4 元素掺杂类金刚石薄膜的国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.4.1 元素掺杂类金刚石薄膜的概述 | 第14-15页 |
| 1.4.2 Cr元素掺杂类金刚石薄膜 | 第15-16页 |
| 1.4.3 多元掺杂及多梯度类金刚石薄膜 | 第16-18页 |
| 1.5 论文章节安排 | 第18-19页 |
| 第2章 类金刚石薄膜的膜基系统稳定性与其影响因素 | 第19-27页 |
| 2.1 类金刚石薄膜的残余应力 | 第19-21页 |
| 2.2 残余应力及结合力与机械失效的关系 | 第21-24页 |
| 2.2.1 薄膜的断裂 | 第22-23页 |
| 2.2.2 薄膜的分层脱落 | 第23-24页 |
| 2.3 掺杂元素对类金刚石薄膜残余应力的影响 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小节 | 第25-27页 |
| 第3章 Cr掺杂类金刚石复合薄膜及其制备 | 第27-35页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 实验条件 | 第27-30页 |
| 3.2.1 基底试样材料的选择 | 第27-28页 |
| 3.2.2 涂层实验设备 | 第28-30页 |
| 3.3 Cr掺杂类金刚石复合薄膜的制备 | 第30-34页 |
| 3.3.1 Cr/DLC复合薄膜的前处理工艺 | 第30页 |
| 3.3.2 Cr/DLC复合薄膜的制备原理及程序 | 第30-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 Cr掺杂类金刚石复合薄膜的性能表征及分析 | 第35-47页 |
| 4.1 Cr/DLC复合薄膜的厚度表征 | 第35-37页 |
| 4.2 Cr/DLC复合薄膜的微观形貌特征 | 第37-39页 |
| 4.2.1 球磨凹坑微观形貌特征 | 第37-38页 |
| 4.2.2 表面及断面微观形貌特征 | 第38-39页 |
| 4.3 Cr/DLC复合薄膜的显微硬度测试 | 第39-41页 |
| 4.4 Cr/DLC复合薄膜的结合强度实验 | 第41-43页 |
| 4.5 实验结果与分析 | 第43-46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 Cr掺杂类金刚石复合薄膜在橡胶模具中的应用 | 第47-54页 |
| 5.1 引言 | 第47-48页 |
| 5.2 橡胶模具表面Cr/DLC复合薄膜的应用 | 第48-52页 |
| 5.2.1 橡胶模具的前处理工艺 | 第48-51页 |
| 5.2.2 橡胶模具Cr/DLC薄膜的制备 | 第51-52页 |
| 5.3 橡胶模具的性能测试及现场应用 | 第52-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论与分析 | 第54-56页 |
| 6.1 全文结论 | 第54-55页 |
| 6.2 研究展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读学位期间所开展的科研项目和发表的学术论文 | 第61页 |