纳米时栅传感结构及参数优化设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 本文的研究背景、来源和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 激光干涉仪 | 第11-13页 |
| 1.2.2 光栅尺 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 时栅传感器测量原理 | 第16-25页 |
| 2.1 时空转换测量原理 | 第16-17页 |
| 2.2 机械式时栅原理 | 第17-18页 |
| 2.3 磁场式时栅原理 | 第18-20页 |
| 2.4 纳米时栅测量原理 | 第20-23页 |
| 2.4.1 传感器结构 | 第20-21页 |
| 2.4.2 结构模型与分析 | 第21-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-25页 |
| 3 结构参数设计与分析 | 第25-34页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 结构设计 | 第25-26页 |
| 3.3 动尺极片形状分析 | 第26-27页 |
| 3.4 引线结构误差特性分析 | 第27-28页 |
| 3.5 安装引入误差特性分析 | 第28-32页 |
| 3.5.1 二次误差理论模型 | 第28-30页 |
| 3.5.2 安装引入二次误差分析 | 第30-32页 |
| 3.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 实验系统平台搭建 | 第34-45页 |
| 4.1 实验环境 | 第34页 |
| 4.2 激励信号系统 | 第34-37页 |
| 4.3 AEROTECH精密直线位移控制平台 | 第37-38页 |
| 4.4 PI并联定位系统 | 第38-40页 |
| 4.5 信号处理系统 | 第40-42页 |
| 4.6 上位机软件设计 | 第42-43页 |
| 4.7 实验系统平台 | 第43-44页 |
| 4.8 本章小结 | 第44-45页 |
| 5 实验验证与结构优化 | 第45-67页 |
| 5.1 动尺极片形状对比实验与优化 | 第45-47页 |
| 5.2 定尺引线结构实验与优化 | 第47-53页 |
| 5.2.1 定尺两边引线结构实验 | 第48-50页 |
| 5.2.2 定尺引线结构优化 | 第50-53页 |
| 5.3 安装误差验证实验 | 第53-58页 |
| 5.3.1 yz平面动尺倾斜实验 | 第54-56页 |
| 5.3.2 xy平面动尺偏转实验 | 第56-58页 |
| 5.4 单列式结构 | 第58-65页 |
| 5.4.1 测量原理 | 第59-61页 |
| 5.4.2 实验验证与分析 | 第61-65页 |
| 5.5 大量程精度实验 | 第65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第73页 |
