| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| 1.1 硅微纳结构简介 | 第16-21页 |
| 1.1.1 硅微纳结构的研究意义 | 第16页 |
| 1.1.2 硅微纳结构的分类 | 第16-21页 |
| 1.2 硅基异质结构的研究进展 | 第21-25页 |
| 1.2.1 硅基异质结构的分类 | 第21-22页 |
| 1.2.2 石墨烯/硅异质结构的研究进展 | 第22-24页 |
| 1.2.3 ZnO/硅异质结构的研究进展 | 第24-25页 |
| 1.3 光电探测器简介 | 第25-27页 |
| 1.3.1 光电探测器的原理及分类 | 第25-26页 |
| 1.3.2 光电探测器的应用 | 第26-27页 |
| 1.4 本课题研究背景与主要内容 | 第27-29页 |
| 第二章 石墨烯/硅锥异质结的制备及表征 | 第29-36页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 实验所用药品及设备 | 第29-30页 |
| 2.3 石墨烯/硅锥异质结的制备及表征 | 第30-34页 |
| 2.3.1 硅锥阵列的制备和表征 | 第30-32页 |
| 2.3.2 石墨烯/硅锥异质结的光学模拟 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 石墨烯/硅锥异质结近红外光电探测器的制备及表征 | 第36-45页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 石墨烯/硅锥异质结近红外光电探测器的制备 | 第36-37页 |
| 3.3 石墨烯/硅锥异质结近红外光电探测器的光电特性表征 | 第37-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 ZnO纳米棒/黑硅异质结光电探测器的制备及表征 | 第45-60页 |
| 4.1 引言 | 第45-46页 |
| 4.2 实验所用药品及设备 | 第46页 |
| 4.3 ZnO纳米棒/黑硅异质结的制备和表征 | 第46-51页 |
| 4.3.1 黑硅的制备和表征 | 第46-48页 |
| 4.3.2 ZnO纳米棒阵列的制备和表征 | 第48-51页 |
| 4.4 ZnO纳米棒/黑硅异质结光电探测器的光电特性表征 | 第51-54页 |
| 4.5 ZnO纳米棒/黑硅异质结光电探测器的气敏特性表征 | 第54-58页 |
| 4.5.1 ZnO纳米棒/黑硅异质结光电探测器气敏机理分析 | 第54-55页 |
| 4.5.2 气敏特性测试中的相关参数与计算 | 第55-56页 |
| 4.5.3 ZnO纳米棒/黑硅异质结光电探测器的气敏特性表征 | 第56-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 本章小结 | 第60-61页 |
| 5.2 未来展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68页 |
