数字莫尔移相干涉仪仪器化研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·非球面及其应用 | 第11-12页 |
| ·非球面检测技术 | 第12-16页 |
| ·接触式检测 | 第13页 |
| ·几何光线法 | 第13页 |
| ·零检验干涉法 | 第13-14页 |
| ·非零检验干涉法 | 第14-16页 |
| ·非球面测量干涉仪发展现状 | 第16-18页 |
| ·论文主要工作及论文结构 | 第18-20页 |
| 第二章 数字莫尔移相干涉仪总体设计 | 第20-24页 |
| ·数字莫尔移相干涉仪原理 | 第20-21页 |
| ·数字莫尔移相干涉仪总体设计 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 实际非零干涉仪光学系统的设计 | 第24-44页 |
| ·光学系统光路的方案选择 | 第24-27页 |
| ·常见干涉仪光路 | 第24-25页 |
| ·实际非零干涉仪光路 | 第25-26页 |
| ·实际非零干涉仪光路总体设计指标 | 第26-27页 |
| ·望远系统的设计及优化 | 第27-35页 |
| ·望远物镜的设计及优化 | 第28-31页 |
| ·望远目镜的设计及优化 | 第31-34页 |
| ·望远系统的整体优化 | 第34-35页 |
| ·扩束准直系统的设计及优化 | 第35-38页 |
| ·扩束准直系统的结构选型 | 第35-36页 |
| ·扩束准直系统在Zemax中的设计与优化 | 第36-38页 |
| ·光学系统的公差分析 | 第38-42页 |
| ·Zemax中公差分析的三种模式 | 第38页 |
| ·望远系统的公差分析 | 第38-41页 |
| ·扩束系统的公差分析 | 第41-42页 |
| ·光学系统加工实体结果 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 图像传输系统的设计 | 第44-62页 |
| ·图像传输系统的硬件选型与总体设计 | 第44-47页 |
| ·DSP与FPGA图像传输接口 | 第47-49页 |
| ·DSP软件模块的设计 | 第49-57页 |
| ·DSP的EMIF接口寄存器的配置 | 第50-51页 |
| ·DSP的GPIO与中断模块配置 | 第51-54页 |
| ·DSP的EDMA模块 | 第54-57页 |
| ·FPGA的FIFO软件设计 | 第57-61页 |
| ·FIFO数据写入与读出模块 | 第57-58页 |
| ·空满信号判断模块 | 第58-59页 |
| ·DSP信号接收与发送模块 | 第59页 |
| ·顶层例化与模拟仿真 | 第59-61页 |
| ·DSP和FPGA数据传输测试结果 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 数字莫尔技术在DSP上的实现 | 第62-75页 |
| ·数字莫尔技术原理 | 第62-63页 |
| ·在DSP上实现数字莫尔技术 | 第63-72页 |
| ·算法实现前期工作 | 第65-66页 |
| ·波前数据的读入与点乘图的生成 | 第66-67页 |
| ·在DSP中实现图像的二维FFT变换 | 第67-70页 |
| ·频域的低通滤波与IFFT2变换 | 第70-72页 |
| ·莫尔图像与被测表面误差关系 | 第72-73页 |
| ·莫尔图像与实际非零干涉仪调节分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·论文主要研究工作 | 第75-76页 |
| ·下一步工作 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
