基于柔性PI衬底的加热型传感器/阵列相关技术研究
| 内容摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-35页 |
| ·柔性电子 | 第18-21页 |
| ·柔性衬底 | 第21-22页 |
| ·柔性传感器 | 第22-25页 |
| ·敏感材料：有机材料和无机材料 | 第23页 |
| ·基于金属氧化物的柔性气体传感器 | 第23-25页 |
| ·柔性温控系统 | 第25-27页 |
| ·基于柔性传感器测量电路设计及无线应用 | 第27-28页 |
| ·基于柔性传感器测量电路的设计 | 第27页 |
| ·基于RFID技术的柔性电子标签 | 第27-28页 |
| ·本文研究内容及意义 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-35页 |
| 第二章 Polyimide柔性衬底的表面金属化 | 第35-50页 |
| ·柔性衬底：聚酰亚胺 | 第35页 |
| ·柔性衬底金属图形化工艺原理 | 第35-38页 |
| ·传统MEMS金属图形化工艺原理 | 第36-37页 |
| ·表面改性及离子交换法 | 第37-38页 |
| ·制备工艺 | 第38-40页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第38-39页 |
| ·制备步骤 | 第39-40页 |
| ·PI/Ag圈形化薄膜表征 | 第40-45页 |
| ·PI/Ag图形化表征 | 第40-41页 |
| ·PI/Ag薄膜材料表征 | 第41-42页 |
| ·PI/Ag亲疏水性测试 | 第42-45页 |
| ·PI/Ag复合薄膜的机械性能测试 | 第45页 |
| ·基于光刻技术的PI/Ag材料制备 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 基于柔性衬底的体温传感器与柔性加热器研究 | 第50-62页 |
| ·加热—温度传感系统研究意义 | 第50页 |
| ·基于柔性衬底温度传感器设计 | 第50-54页 |
| ·温度传感器工作原理 | 第50-52页 |
| ·基于柔性衬底温度传感器结构设计 | 第52页 |
| ·基于柔性衬底温度传感器性能测试 | 第52-54页 |
| ·基于柔性衬底原位加热器设计 | 第54-59页 |
| ·加热器工作原理 | 第54-55页 |
| ·基于柔性衬底加热器结构设计 | 第55页 |
| ·基于柔性衬底加热器性能测试 | 第55-59页 |
| ·结果讨论 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 基于柔性衬底的加热式湿度传感器研究 | 第62-78页 |
| ·柔性加热式湿度传感器研究意义 | 第62页 |
| ·柔性加热式湿度传感器结构和工作原理 | 第62-64页 |
| ·制备工艺 | 第64-66页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第64页 |
| ·制备步骤 | 第64-66页 |
| ·柔性加热式湿度传感器测试及表征 | 第66-75页 |
| ·湿度环境测试系统 | 第66-67页 |
| ·柔性湿度传感器结构形貌表征 | 第67-69页 |
| ·测试结果与分析 | 第69-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 第五章 基于柔性衬底的加热式气体传感器研究 | 第78-93页 |
| ·加热式柔性气体传感器研究背景 | 第78页 |
| ·柔性加热式气体传感器工作原理 | 第78-81页 |
| ·沉积方式 | 第78-80页 |
| ·气体传感器检测原理 | 第80-81页 |
| ·测试结果与分析 | 第81-89页 |
| ·无加热结构柔性气体传感器测试 | 第81-87页 |
| ·加热式柔性气体传感器测试 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-93页 |
| 第六章 基于柔性传感器测量电路设计及无线应用 | 第93-107页 |
| ·测量电路设计 | 第93-105页 |
| ·测量转换电路 | 第93-96页 |
| ·电容-电压测量转换电路的研究与分析 | 第96-99页 |
| ·电路仿真与测试 | 第99-105页 |
| ·基于柔性传感器电子标签设计及其无线应用 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第七章 总结与展望 | 第107-109页 |
| 附录 | 第109-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 硕士论文期间发表文章 | 第117页 |
