基于迟滞非线性控制的导体微观表面检测技术
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 缩略词 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-16页 |
| ·用于微观表面检测的SPM技术研究现状 | 第13-14页 |
| ·压电驱动器及其迟滞非线性控制研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文的研究内容安排 | 第16-17页 |
| 第二章 基于隧道效应的导体微观表面检测系统 | 第17-25页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·基于隧道效应的导体微观表面检测工作原理 | 第17-19页 |
| ·工作模式 | 第19-20页 |
| ·基于隧道效应的导体微观表面检测系统设计 | 第20-24页 |
| ·驱动机构设计 | 第20-22页 |
| ·探针制备 | 第22页 |
| ·隧道电流检测电路设计 | 第22-23页 |
| ·控制与信号采集设备 | 第23页 |
| ·隔振平台 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电化学腐蚀法制备探针 | 第25-32页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·探针对STM扫描结果的影响 | 第25-26页 |
| ·制备探针的方法 | 第26-28页 |
| ·电化学腐蚀法制备STM探针 | 第26-27页 |
| ·机械剪切法制备STM探针 | 第27-28页 |
| ·薄膜法制备STM探针 | 第28-31页 |
| ·实验装置 | 第28-29页 |
| ·实验过程与结果分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 隧道电流检测电路设计 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·微弱电流检测技术 | 第32-34页 |
| ·隧道电流检测电路 | 第34-38页 |
| ·主要器件的选择 | 第35页 |
| ·总体设计方案 | 第35-38页 |
| ·硬件设计与制作 | 第38页 |
| ·隧道电流检测电路测试 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 基于迟滞补偿的导体微观表面检测控制系统 | 第42-54页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·控制系统设计 | 第42-45页 |
| ·总体设计方案 | 第42-44页 |
| ·基于迟滞逆模型的微位移控制原理 | 第44-45页 |
| ·压电驱动器的迟滞模型 | 第45-53页 |
| ·常用的迟滞模型 | 第46-51页 |
| ·Maxwell模型与改进的Maxwell模型 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 基于迟滞非线性控制的导体微观表面检测实验 | 第54-60页 |
| ·实验装置 | 第54-55页 |
| ·实验结果与分析 | 第55-59页 |
| ·电压控制扫描 | 第55-56页 |
| ·迟滞逆模型控制扫描 | 第56-58页 |
| ·迟滞逆模型与PID复合控制扫描 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第七章 结论 | 第60-62页 |
| ·总结 | 第60-61页 |
| ·研究展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67页 |
