用于振动检测的超磁致伸缩薄膜悬臂梁的制备、性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·选题的科学依据 | 第7-9页 |
| ·课题的提出 | 第7页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·课题的来源 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·水轮机振动监测系统与典型的振动传感器 | 第9-14页 |
| ·机械式振动传感器 | 第9-10页 |
| ·光电式振动传感器 | 第10-11页 |
| ·电测式振动传感器 | 第11-14页 |
| ·超磁致伸缩材料的发展 | 第14-15页 |
| ·超磁致伸缩材料在传感器中的应用 | 第15页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| ·本论文的研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 超磁致伸缩薄膜悬臂梁的设计 | 第17-26页 |
| ·磁致伸缩薄膜悬臂梁振动检测原理 | 第17页 |
| ·超磁致伸缩薄膜悬臂梁材料选取 | 第17-20页 |
| ·超磁致伸缩材料的选取 | 第17-20页 |
| ·薄膜悬臂梁的基底材料的选取 | 第20页 |
| ·超磁致伸缩薄膜悬臂梁静态应力与应变分析 | 第20-25页 |
| ·悬臂梁应力应变关系 | 第20-22页 |
| ·磁致伸缩薄膜悬臂梁弯曲状态与应变计算 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 超磁致伸缩薄膜悬臂振动模拟仿真 | 第26-39页 |
| ·有限元法基本思想与原理 | 第26页 |
| ·有限元法的动态分析 | 第26-27页 |
| ·薄膜悬臂梁有限元模拟仿真 | 第27-37页 |
| ·ANSYS Workbench软件介绍 | 第27-29页 |
| ·薄膜悬臂梁的模态分析 | 第29-33页 |
| ·悬臂梁谐响应分析 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 超磁致伸缩薄膜悬臂梁的制备 | 第39-50页 |
| ·超磁致伸缩薄膜的制备方法 | 第39-41页 |
| ·磁控溅射的工艺研究 | 第41-49页 |
| ·实验控制方法 | 第41-42页 |
| ·实验结果与讨论 | 第42-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 超磁致伸缩薄膜悬臂梁性能分析 | 第50-58页 |
| ·磁致伸缩薄膜悬臂梁感应电压模型 | 第50-51页 |
| ·薄膜悬臂梁实验平台的搭建 | 第51-54页 |
| ·实验平台的确定 | 第51-52页 |
| ·磁场发生装置的设计与制作 | 第52-53页 |
| ·实验设备组成 | 第53-54页 |
| ·实验结果与讨论 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
