触发型真空弧离子源放电特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·触发真空弧离子源研究进展 | 第8-10页 |
| ·论文研究背景及意义 | 第10页 |
| ·本文主要工作及内容安排 | 第10-12页 |
| 第二章 触发型真空弧放电的特征和理论 | 第12-23页 |
| ·真空弧放电的特征 | 第12-18页 |
| ·弧放电模式及分类 | 第12-13页 |
| ·真空弧放电的过程 | 第13-14页 |
| ·阴极斑区域模型 | 第14-16页 |
| ·弧放电电势分布 | 第16页 |
| ·离子电荷态分布 | 第16-18页 |
| ·放电等离子体的辐射 | 第18页 |
| ·真空弧触发放电方式 | 第18-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 沿面触发放电数值模拟研究 | 第23-34页 |
| ·VSIM软件介绍 | 第23-25页 |
| ·粒子运动模块计算 | 第24-25页 |
| ·场模块计算 | 第25页 |
| ·物理模型与参数设置 | 第25-30页 |
| ·仿真模型 | 第25-26页 |
| ·电磁场模型 | 第26-28页 |
| ·粒子发射与二次电子设置 | 第28-29页 |
| ·沿面闪络脱附气体模型 | 第29-30页 |
| ·模拟结果分析及讨论 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 触发离子源放电特性实验研究 | 第34-56页 |
| ·触发和导通特性研究 | 第34-44页 |
| ·实验系统介绍 | 第34-38页 |
| ·离子源结构和电场仿真 | 第35-36页 |
| ·离子源脉冲电源系统 | 第36-38页 |
| ·离子源触发特性研究 | 第38-40页 |
| ·触发电压及其稳定性 | 第39页 |
| ·动作时延 | 第39-40页 |
| ·离子源导通特性研究 | 第40-44页 |
| ·主弧电压的测量 | 第41-42页 |
| ·阴极材料对主弧电压的影响 | 第42-43页 |
| ·主间隙导通时延 | 第43-44页 |
| ·主弧形成过程分析 | 第44-50页 |
| ·实验平台 | 第44-45页 |
| ·起弧及导通过程 | 第45-50页 |
| ·触发离子源结构 | 第45页 |
| ·初始等离子体的形成及扩散 | 第45-46页 |
| ·主弧的击穿放电 | 第46-48页 |
| ·总发光强度 | 第48-49页 |
| ·电极的烧蚀 | 第49-50页 |
| ·影响触发真空弧放电因素 | 第50-52页 |
| ·触发真空放电阴极斑产生机制分析 | 第52-53页 |
| ·等离子体的扩散对导通的影响 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 触发离子源等离子体特性研究 | 第56-66页 |
| ·基于平板探针的离子电流研究 | 第56-58页 |
| ·离子电流大小 | 第56-58页 |
| ·离子电流稳定性 | 第58页 |
| ·等离子体光谱诊断研究 | 第58-65页 |
| ·实验装置 | 第58-59页 |
| ·等离子体发射光谱 | 第59-61页 |
| ·电子激发温度 | 第61-64页 |
| ·不同弧电流对光谱诊断的影响 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结和展望 | 第66-68页 |
| ·全文总结 | 第66-67页 |
| ·下一步工作建议 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 附录A 硕士研究生在校期间发表学术论文情况 | 第75页 |
