小角度XRD的实现及应用
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·小角 X 射线衍射技术发展历史 | 第10-11页 |
| ·X 射线和物质的作用 | 第11-14页 |
| ·X 射线的散射 | 第11-13页 |
| ·X 射线的吸收 | 第13-14页 |
| ·薄膜厚度测试技术 | 第14-18页 |
| ·常用的薄膜成分分析方法 | 第18-19页 |
| ·本课题的主要内容及研究意义 | 第19-20页 |
| 第二章 小角 X 射线技术 | 第20-31页 |
| ·小角衍射几何分类和特点 | 第20-21页 |
| ·小角衍射几何分类 | 第20-21页 |
| ·小角衍射的特点 | 第21页 |
| ·小角 X 射线衍射基本原理 | 第21-27页 |
| ·小角 X 射线衍射全反射 | 第21-23页 |
| ·反射系数与透射系数 | 第23-26页 |
| ·X 射线的穿透深度 | 第26-27页 |
| ·多层膜系统 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 X 射线及 X 射线衍射仪工作原理 | 第31-43页 |
| ·X 射线的特征和 X 射线光谱 | 第31-35页 |
| ·X 射线的特征 | 第31-32页 |
| ·X 射线光谱 | 第32-35页 |
| ·X 射线衍射仪的基本结构 | 第35-42页 |
| ·X 射线源 | 第36-37页 |
| ·测角仪 | 第37-38页 |
| ·测角仪光学系统 | 第38-39页 |
| ·探测器 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 普通 XRD 的改装实现小角度 XRD | 第43-55页 |
| ·全反射 X 射线荧光分析仪的改装 | 第43-46页 |
| ·X 射线管 | 第44页 |
| ·X 射线光路 | 第44-45页 |
| ·SDD 探测器 | 第45-46页 |
| ·小角 X 射线衍射控制软件的设计 | 第46-53页 |
| ·软件背景 | 第46页 |
| ·总体设计 | 第46-50页 |
| ·关键技术 | 第50-53页 |
| ·软件界面及功能介绍 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 小角度 XRD 的应用 | 第55-70页 |
| ·SiO_2薄膜样品的检测 | 第55-62页 |
| ·SiO_2薄膜样品的制备过程 | 第55页 |
| ·SiO_2薄膜样品的检测 | 第55-62页 |
| ·镍锌铁氧体薄膜样品的检测 | 第62-68页 |
| ·脉冲激光沉积系统 | 第62页 |
| ·镍锌铁氧体薄膜样品的制备过程 | 第62-64页 |
| ·镍锌铁氧体薄膜的检测 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77页 |
