摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-9页 |
1. 绪论 | 第9-22页 |
·课题的意义 | 第9-10页 |
·气体流量传感器介绍 | 第10-14页 |
·热膜式气体流量传感器研究现状 | 第14-20页 |
·课题来源与本文研究内容 | 第20-22页 |
2. 热膜式气体流量传感器基本理论 | 第22-41页 |
·质量流量测量原理 | 第22-24页 |
·热膜式气体流量传感器类型 | 第24-26页 |
·传感器工作电路 | 第26-38页 |
·传感器方案设计 | 第38-39页 |
·本章小结 | 第39-41页 |
3. 传感器设计 | 第41-60页 |
·传感器芯片结构 | 第41-42页 |
·传感器加热电路设计 | 第42-51页 |
·测温电路设计 | 第51-58页 |
·本章小结 | 第58-60页 |
4. 传感器工艺方案设计 | 第60-75页 |
·传感器工艺方案设计 | 第60-64页 |
·传感器加工工艺 | 第64-67页 |
·传感器加工 | 第67-74页 |
·本章小结 | 第74-75页 |
5. 总结与展望 | 第75-77页 |
·全文总结 | 第75-76页 |
·今后研究工作建议和展望 | 第76-77页 |
致谢 | 第77-78页 |
参考文献 | 第78-82页 |
附录 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第82页 |