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一种高精度气体质量流量传感器芯片的研制

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
1. 绪论第9-22页
   ·课题的意义第9-10页
   ·气体流量传感器介绍第10-14页
   ·热膜式气体流量传感器研究现状第14-20页
   ·课题来源与本文研究内容第20-22页
2. 热膜式气体流量传感器基本理论第22-41页
   ·质量流量测量原理第22-24页
   ·热膜式气体流量传感器类型第24-26页
   ·传感器工作电路第26-38页
   ·传感器方案设计第38-39页
   ·本章小结第39-41页
3. 传感器设计第41-60页
   ·传感器芯片结构第41-42页
   ·传感器加热电路设计第42-51页
   ·测温电路设计第51-58页
   ·本章小结第58-60页
4. 传感器工艺方案设计第60-75页
   ·传感器工艺方案设计第60-64页
   ·传感器加工工艺第64-67页
   ·传感器加工第67-74页
   ·本章小结第74-75页
5. 总结与展望第75-77页
   ·全文总结第75-76页
   ·今后研究工作建议和展望第76-77页
致谢第77-78页
参考文献第78-82页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文及专利第82页

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