| 作者简介 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| §1.1 PZT铁电薄膜材料 | 第14-18页 |
| ·铁电材料及性能 | 第14-15页 |
| ·PZT的结构特征 | 第15-16页 |
| ·PZT铁电材料的发展与应用 | 第16-17页 |
| ·PZT铁电薄膜材料的制备方法 | 第17-18页 |
| §1.2 组成梯度PZT铁电薄膜 | 第18-22页 |
| ·梯度功能材料 | 第18-19页 |
| ·梯度铁电薄膜材料 | 第19-20页 |
| ·梯度铁电薄膜研究中存在的问题 | 第20-22页 |
| §1.3 “组合化学法”的应用 | 第22-23页 |
| §1.4 本文研究的目的及主要内容 | 第23-24页 |
| §1.5 本文的创新点 | 第24-25页 |
| 第二章 单组分PZT薄膜的制备及性能研究 | 第25-43页 |
| §2.1 实验原理 | 第25-26页 |
| §2.2 实验原料及设备 | 第26-27页 |
| §2.3 PZT前驱溶液制备流程 | 第27-29页 |
| ·PT前驱溶液的制备(Pb过量10%) | 第27页 |
| ·PZ前驱溶液的制备(Pb过量10%) | 第27-28页 |
| ·PZT溶液的制备 | 第28-29页 |
| §2.4 单组分PZT薄膜的制备流程 | 第29-30页 |
| ·基片的选择及清洗 | 第29页 |
| ·单组分PZT薄膜的制备 | 第29-30页 |
| §2.5 单组分PZT薄膜的结构性能测试与分析 | 第30-41页 |
| ·X射线衍射结构分析 | 第30-32页 |
| ·X射线光电子能谱成分分析 | 第32-33页 |
| ·原子力显微镜表面形貌分析 | 第33-35页 |
| ·扫描电镜形貌分析 | 第35-36页 |
| ·电性能测试 | 第36-41页 |
| §2.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 组成梯度PZT铁电薄膜的制备及性能研究 | 第43-59页 |
| §3.1 组成梯度PZT铁电薄膜的设计 | 第43页 |
| §3.2 组成梯度PZT铁电薄膜的制备 | 第43-44页 |
| §3.3 组成梯度PZT铁电薄膜的结构性能测试与分析 | 第44-57页 |
| ·俄歇电子能谱组成梯度分析 | 第44-45页 |
| ·X射线衍射结构分析 | 第45-47页 |
| ·扫描电镜形貌分析 | 第47页 |
| ·原子力显微镜表面形貌分析 | 第47-48页 |
| ·电性能测试 | 第48-57页 |
| §3.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 结论及展望 | 第59-61页 |
| §4.1 实验结论 | 第59-60页 |
| §4.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |