双面膜片型微型富集器的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 绪论	第10-22页
·课题背景	第10-11页
·微细加工技术	第11-14页
·MEMS 简介	第11-13页
·MEMS 技术的应用	第13-14页
·MEMS 的主要加工工艺	第14-16页
·气体富集器的研究现状及发展趋势	第16-21页
·平面结构的富集器	第17-18页
·三维结构的富集器	第18-21页
·论文主要内容	第21-22页
第二章 富集器的主要理论及性能参数	第22-33页
·富集器的吸附功能	第22-26页
·吸附原理	第22-24页
·吸附剂的性能要求	第24-25页
·解吸附方法	第25页
·影响吸附剂能力的因素	第25-26页
·微型加热器	第26-28页
·富集器的富集率及其影响因素	第28-32页
·吸附材料对富集效率的影响	第28-29页
·气体流速对富集效率的影响	第29-30页
·富集时间对富集效率的影响	第30-31页
·升温速率对富集效率的影响	第31-32页
·本章小结	第32-33页
第三章 双面膜片型富集器的结构设计	第33-48页
·双面膜片型富集器的基本结构	第33-35页
·双面膜片型结构的整体工艺流程	第35-37页
·氮化硅薄膜	第37-40页
·氮化硅的性能简述	第37页
·氮化硅薄膜的制备方法	第37-40页
·氮化硅悬空膜片结构的仿真	第40-43页
·湿法腐蚀制备空腔	第43-47页
·硅的湿法腐蚀技术	第43-44页
·各向异性湿法腐蚀制备空腔	第44-47页
·本章小结	第47-48页
第四章 双面膜片型富集器的制备与测试	第48-58页
·Pt 蛇形加热电极的制备	第48-53页
·光刻剥离工艺	第48-51页
·Pt 薄膜的制备与研究	第51-53页
·干法刻蚀制备空腔及气流通道	第53-56页
·微型富集器的封装与测试	第56-57页
·本章小结	第57-58页
第五章 总结与展望	第58-60页
·全文总结	第58页
·展望	第58-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-65页
攻读硕士学位期间的研究成果	第65-66页