| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-32页 |
| ·引言 | 第12-14页 |
| ·原子力显微镜 | 第14-17页 |
| ·声原子力显微镜技术发展状况 | 第17-27页 |
| ·各类声原子力显微镜技术技术简介 | 第17-23页 |
| ·声原子力显微镜技术技术比较 | 第23-25页 |
| ·声原子力显微镜技术应用 | 第25-27页 |
| ·声原子力显微镜技术存在问题 | 第27-29页 |
| ·课题意义和本文的主要研究内容 | 第29-32页 |
| 第2章 声原子力显微镜技术的基本理论 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·针尖和样品接触及相互作用 | 第32-35页 |
| ·非粘附接触 | 第32页 |
| ·赫兹模型：接触半径和负载 | 第32-34页 |
| ·接触刚度 | 第34-35页 |
| ·悬臂梁动力学理论模型 | 第35-47页 |
| ·悬臂梁动力学方程和本征模 | 第35-38页 |
| ·悬臂梁动力学系统模型 | 第38-43页 |
| ·悬臂梁和样品耦合系统模型 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-50页 |
| 第3章 超声振动原子力显微镜系统及初步成像 | 第50-64页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·超声振动原子力显微镜实验系统搭建及优化 | 第50-58页 |
| ·超声振动原子力显微镜系统实验系统组成 | 第50-52页 |
| ·超声振动原子力显微镜实验系统优化 | 第52-58页 |
| ·超声振动原子力显微镜实验系统成像能力测试 | 第58-62页 |
| ·超声振动原子力显微镜激励频率对成像的影响 | 第58-59页 |
| ·环境对超声振动原子力显微镜系统成像影响 | 第59-61页 |
| ·超声振动原子力显微镜次表面结构成像 | 第61-62页 |
| ·成像结果 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 样品表面形貌对超声振动原子力显微镜成像影响 | 第64-74页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·方法 | 第64-67页 |
| ·实验 | 第64-65页 |
| ·模型 | 第65-67页 |
| ·结果和讨论 | 第67-72页 |
| ·单点接触 | 第67-69页 |
| ·多点接触 | 第69-71页 |
| ·非均匀力学特性 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第5章 不同激励方式UV-AFM成像比较 | 第74-84页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·实验 | 第74-75页 |
| ·结果与讨论 | 第75-83页 |
| ·悬臂梁动态特性 | 第75-79页 |
| ·成像 | 第79-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第6章 总结与展望 | 第84-88页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第84-85页 |
| ·工作展望 | 第85-88页 |
| 参考文献 | 第88-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第98页 |