硅基微环谐振腔温度可调谐滤波器特性的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·光波导滤波器的研究现状 | 第10-16页 |
| ·国际研究现状 | 第10-14页 |
| ·国内研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 微环形谐振腔的传输理论与特性分析 | 第18-24页 |
| ·微环谐振腔传输特性 | 第18-19页 |
| ·微环腔滤波器的主要性能指标 | 第19-23页 |
| ·谐振波长λm及频率 f | 第19-20页 |
| ·自由光谱范围 FSR | 第20-21页 |
| ·半高全宽 FWHM | 第21-22页 |
| ·精细度 F | 第22页 |
| ·品质因数 Q | 第22-23页 |
| ·消光比 r | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 光学滤波器的传输原理分析 | 第24-30页 |
| ·光学单环双通滤波器 | 第24-26页 |
| ·光学单环全通滤波器 | 第26-27页 |
| ·光学多环级联高阶滤波器 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 可调谐滤波器的设计与加工 | 第30-53页 |
| ·SOI 材料的制备 | 第30-32页 |
| ·SOI 可调谐微环谐振腔滤波器的光学设计 | 第32-40页 |
| ·光波导高度及宽度尺寸 | 第32-34页 |
| ·微环半径 | 第34-36页 |
| ·波导与微环腔耦合间距 | 第36页 |
| ·耦合光栅设计 | 第36-39页 |
| ·整体光学设计 | 第39-40页 |
| ·光波导可调谐滤波器的关键制备工艺 | 第40-45页 |
| ·光刻 | 第40-42页 |
| ·电子束曝光 | 第42-43页 |
| ·电子束蒸镀 | 第43-44页 |
| ·干法刻蚀 | 第44-45页 |
| ·SOI 微环谐振腔滤波器的制备 | 第45-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 光学滤波器的性能测试与分析 | 第53-63页 |
| ·光学滤波器测试系统的搭建 | 第53-55页 |
| ·垂直光栅耦合测试 | 第55-56页 |
| ·滤波器的测试与分析 | 第56-59页 |
| ·可调谐滤波器的测试与分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·工作总结 | 第63-64页 |
| ·工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的研究成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
