| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·金属氧化物气敏传感器的结构 | 第9-15页 |
| ·金属氧化物气敏传感器的气敏机理 | 第15-19页 |
| ·掺杂的研究现状 | 第19-21页 |
| ·本文的研究意义和内容 | 第21-23页 |
| 2 微滴注掺 Pd 对 WO_3气敏传感器气敏性能的影响 | 第23-36页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·实验部分 | 第24-27页 |
| ·掺 Pd 的 WO_3气敏膜对甲苯的气敏性能 | 第27-32页 |
| ·掺 Pd 量对气敏性能的影响 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 掺杂工艺对气敏性能的影响和在低温下探测 ppb 级 NO_2的气敏传感器的研究 | 第36-48页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·实验部分 | 第37-38页 |
| ·实验结果与分析 | 第38-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 4 掺入 SiO_2纳米颗粒对厚膜 ZnO 气敏传感器气敏性能的影响 | 第48-55页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·实验部分 | 第48-49页 |
| ·实验结果与分析 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 全文总结与展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-68页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表论文 | 第68页 |
