| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 综述 | 第10-28页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·ZnO透明导电薄膜概述 | 第11-17页 |
| ·氧化物透明导电薄膜概述 | 第11-14页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第14-17页 |
| ·ZnO的形态及制备技术 | 第17-23页 |
| ·ZnO体单晶 | 第17-18页 |
| ·ZnO薄膜 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜的制备技术 | 第19-23页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第23-24页 |
| ·在光电方面的应用 | 第23页 |
| ·在压电方面的应用 | 第23-24页 |
| ·在气敏方面的应用 | 第24页 |
| ·在稀磁方面的应用 | 第24页 |
| ·纳米ZnO的主要应用 | 第24页 |
| ·稀土元素概述及稀土元素在ZnO薄膜材料制备中的应用前景 | 第24-26页 |
| ·稀土的发光特性 | 第25页 |
| ·稀土元素在功能陶瓷和高温结构陶瓷方面的应用 | 第25页 |
| ·稀土元素在ZnO材料制备中的应用 | 第25-26页 |
| ·问题的提出及本文的研究方向 | 第26-28页 |
| ·问题的提出 | 第26-27页 |
| ·本文的研究方向 | 第27-28页 |
| 第二章 实验过程与研究方法 | 第28-42页 |
| ·溶胶-凝胶技术 | 第28-33页 |
| ·溶胶-凝胶法的技术发展 | 第28页 |
| ·溶胶-凝胶技术的特点 | 第28-29页 |
| ·溶胶-凝胶法在稀土发光材料制备方面的应用 | 第29-30页 |
| ·溶胶-凝胶法的原理 | 第30页 |
| ·溶胶-凝胶制备技术的关键 | 第30-31页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的常用工艺 | 第31-32页 |
| ·溶胶-凝胶工艺的展望 | 第32-33页 |
| ·本实验所采用的试剂及实验准备 | 第33-35页 |
| ·实验试剂 | 第33-34页 |
| ·衬底基片的选择和预处理 | 第34-35页 |
| ·实验方案 | 第35页 |
| ·实验方法 | 第35-36页 |
| ·采用分液漏斗和试管的装置提拉制备ZnO薄膜 | 第35-36页 |
| ·采用烧杯和输液管提拉装置制备ZnO薄膜 | 第36页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第36-37页 |
| ·实验所用仪器以及分析所用设备 | 第37-42页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第38-39页 |
| ·扫描电镜(SEM) | 第39-40页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第40-42页 |
| 第三章 Y~(3+)掺杂ZnO薄膜的实验结果分析 | 第42-53页 |
| ·Y~(3+)掺杂浓度变化对薄膜性质的影响 | 第42-46页 |
| ·Y~(3+)掺杂浓度不同时的XRD分析 | 第42-43页 |
| ·Y~(3+)掺杂浓度不同时的SEM分析 | 第43-44页 |
| ·Y~(3+)掺杂浓度不同时的紫外分析 | 第44-46页 |
| ·Y~(3+)掺杂浓度不同时薄膜方块电阻分析 | 第46页 |
| ·镀膜层数变化对Y~(3+)掺杂薄膜性质的影响 | 第46-48页 |
| ·镀膜层数不同时ZnO:Y薄膜的XRD分析 | 第46-47页 |
| ·镀膜层数不同时ZnO:Y薄膜的紫外分析 | 第47页 |
| ·镀膜层数不同时ZnO:Y薄膜的方块电阻分析 | 第47-48页 |
| ·热处理温度对Y~(3+)掺杂薄膜性质的影响 | 第48-51页 |
| ·热处理温度不同时ZnO:Y薄膜的XRD分析 | 第48-49页 |
| ·热处理温度不同时ZnO:Y薄膜的SEM分析 | 第49-50页 |
| ·热处理温度不同时ZnO:Y薄膜的紫外分析 | 第50页 |
| ·热处理温度不同时ZnO:Y薄膜的拉曼光谱分析 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第四章 Nd~(3+)掺杂ZnO薄膜的结果分析 | 第53-60页 |
| ·Nd~(3+)掺杂不同浓度对薄膜性能的影响 | 第53-54页 |
| ·Nd~(3+)掺杂浓度不同时的XRD分析 | 第53-54页 |
| ·Nd~(3+)掺杂浓度不同时的紫外分析 | 第54页 |
| ·不同热处理温度对Nd~(3+)掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| ·不同热处理温度时ZnO:Nd薄膜SEM分析 | 第54-55页 |
| ·不同热处理温度时ZnO:Nd薄膜的紫外分析 | 第55-56页 |
| ·不同热处理温度时ZnO:Nd薄膜的方块电阻 | 第56-57页 |
| ·Nd~(3+)掺杂ZnO薄膜与Y~(3+)掺杂ZnO薄膜的比较 | 第57-58页 |
| ·Y~(3+)和Nd~(3+)掺杂ZnO薄膜方块电阻的比较 | 第57-58页 |
| ·Y~(3+)和Nd~(3+)掺杂ZnO薄膜透光率的比较 | 第58页 |
| ·稀土元素掺杂ZnO薄膜与AZO薄膜的比较 | 第58页 |
| ·小结 | 第58-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·实验中存在的问题以及今后的研究方向 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 作者在攻读学位期间发表的学术论文 | 第68页 |
