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ZNS基底红外多波段滤光膜的研究与制备

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·引言第7页
   ·薄膜技术的发展第7-8页
   ·光学薄膜的应用第8-10页
   ·本课题的提出及主要内容第10-11页
第二章 基本理论第11-17页
   ·电磁波第11-12页
   ·单界面之反射与透射第12-15页
   ·全介质薄膜第15-17页
第三章 材料选择与薄膜设计第17-29页
   ·材料选择第17-22页
   ·膜系设计第22-29页
第四章 薄膜制备第29-40页
   ·薄膜制备装置第29-32页
   ·膜层厚度监控第32-35页
   ·制备流程第35-36页
   ·影响成膜的工艺因素第36-37页
   ·故障分析与注意事项第37-40页
第五章 测试结果与分析第40-43页
   ·光谱测试第40-42页
   ·环境测试第42-43页
总结第43-44页
致谢第44-45页
参考文献第45页

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