摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第7-11页 |
·引言 | 第7页 |
·薄膜技术的发展 | 第7-8页 |
·光学薄膜的应用 | 第8-10页 |
·本课题的提出及主要内容 | 第10-11页 |
第二章 基本理论 | 第11-17页 |
·电磁波 | 第11-12页 |
·单界面之反射与透射 | 第12-15页 |
·全介质薄膜 | 第15-17页 |
第三章 材料选择与薄膜设计 | 第17-29页 |
·材料选择 | 第17-22页 |
·膜系设计 | 第22-29页 |
第四章 薄膜制备 | 第29-40页 |
·薄膜制备装置 | 第29-32页 |
·膜层厚度监控 | 第32-35页 |
·制备流程 | 第35-36页 |
·影响成膜的工艺因素 | 第36-37页 |
·故障分析与注意事项 | 第37-40页 |
第五章 测试结果与分析 | 第40-43页 |
·光谱测试 | 第40-42页 |
·环境测试 | 第42-43页 |
总结 | 第43-44页 |
致谢 | 第44-45页 |
参考文献 | 第45页 |