激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-34页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·直写微制造技术 | 第12-17页 |
| ·直写技术制造MEMS微结构 | 第17-27页 |
| ·激光-微笔/微喷直写集成制造技术 | 第27-31页 |
| ·课题来源、研究目标、理论依据、创新性和技术路线 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 2 多功能直写微制造系统设计 | 第34-49页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·多功能直写微制造系统设计原理 | 第34-37页 |
| ·多功能直写微制造系统的硬件结构 | 第37-40页 |
| ·多功能直写加工CAD/CAM控制软件的设计 | 第40-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 3 材料体系与工艺方案设计 | 第49-65页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·材料体系与工艺方案 | 第49-52页 |
| ·加工工艺原理分析 | 第52-58页 |
| ·材料准备与性能分析 | 第58-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 牺牲层工艺与机理分析 | 第65-82页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·SOG牺牲层工艺 | 第65-71页 |
| ·聚酰亚胺牺牲层工艺 | 第71-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 5 结构层工艺与机理分析 | 第82-99页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·基于微笔直写沉积工艺制作微结构 | 第82-92页 |
| ·基于微喷直写沉积工艺制作三维微结构 | 第92-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 6 基于激光微熔覆电子浆料工艺制作电极图形 | 第99-120页 |
| ·引言 | 第99页 |
| ·基于激光微熔覆电子浆料工艺制作电极图形 | 第99-101页 |
| ·激光与电子浆料相互作用机理的唯象模型 | 第101-107页 |
| ·激光微熔覆电子浆料功能膜层质量的工艺控制规律 | 第107-118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 7 激光-微笔直写集成制造静电驱动可变电容结构 | 第120-129页 |
| ·引言 | 第120页 |
| ·跨桥式可变电容结构设计与分析 | 第120-123页 |
| ·制造工艺与结果分析 | 第123-126页 |
| ·激光-微笔/微喷直写集成制造技术的应用前景 | 第126-128页 |
| ·本章小结 | 第128-129页 |
| 8 全文总结与展望 | 第129-132页 |
| ·本文主要结论 | 第129-131页 |
| ·问题与展望 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-142页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文和申请专利 | 第142页 |
